特許

J-GLOBAL ID：201303007614552274

多軸位置決め装置

発明者： 本田 顕真 ,  岩出 卓
出願人/特許権者： 東レエンジニアリング株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-006944
公開番号（公開出願番号）：特開2013-136147
出願日： 2013年01月18日
公開日（公表日）： 2013年07月11日
要約：

【課題】処理領域を洗浄可能な多軸位置決め装置を提供する。【解決手段】処理対象物を支持するテーブル(5)と、処理対象物に対して所定の処理を施す処理機構とを、互いに相対的に移動させる多軸駆動機構を有し、該多軸駆動機構は、少なくとも1つの直動機構(2)(3)を有し、該直動機構(2)(3)の移動範囲と前記支持テーブル(5)の移動範囲とを分離する隔壁(22)(23)を備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

処理対象物を支持する支持テーブル(5)と、処理対象物に対して所定の処理を施す処理機構とを、互いに相対的に移動させる多軸駆動機構を有するものであって、 前記多軸駆動機構は、少なくとも1つの直動機構(2)(3)を有し、該直動機構(2)(3)の移動範囲と前記支持テーブル(5)の移動範囲とを分離する隔壁(22)(23)を備え、 少なくとも前記直動機構(2)(3)と前記支持テーブル(5)とを動作させて前記所定の処理を行う間は、前記隔壁(22)(23)で分離された領域のうち、前記直動機構(2)(3)の移動範囲を有する側の気圧は、前記支持テーブル(5)の移動範囲を有する側の気圧に対して負圧になっていることを特徴とする多軸位置決め装置。

IPC (1件)：

B23Q 1/48

FI (1件)：

B23Q1/48 C

Fターム (3件)：

3C048BC02 ,  3C048DD10 ,  3C048DD12

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 角度調整テーブル装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-145919   出願人：日本トムソン株式会社
• 工作機械
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-185945   出願人：シュタールフレースマシーネンアーゲー
• 電子部品実装方法と実装設備及び実装装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-102925   出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (1件)

• 角度調整テーブル装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-145919   出願人：日本トムソン株式会社