特許
J-GLOBAL ID:201303008255133038

走査型SQUID顕微鏡画像の高解像度化方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 久保田 千賀志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-197707
公開番号(公開出願番号):特開2013-057647
出願日: 2011年09月09日
公開日(公表日): 2013年03月28日
要約:
【課題】 ピックアップコイルの線幅(コイル導体の幅)が原因して、高い空間解像度での測定ができない、といった不都合を解消ないし緩和した走査型SQUID顕微鏡(SSM)を提供する。【解決手段】 ピックアップコイル113が無いときに面素片qjのうちコイル導体に対応する面素片を通り抜けていた磁束のうち、ピックアップコイル113があるためにコイル孔側に押しやられた磁束の、面素片qjを通り抜けていた磁束に対する程度を示す形状因子要素fjを各面素片qjについてそれぞれ求めることで、形状因子f、 f={fj|1≦j≦n,nおよびjは自然数} ・・・(1)を算出し、この形状因子fを用いて、元の磁束分布画像を補正する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
先端にピックアップコイルが形成されてなるプローブにより試料の表面を走査し、この走査により取得した前記試料の表面の磁束分布画像を高解像度化する走査型SQUID顕微鏡画像の高解像度化方法において、 ピックアップコイルを含む仮想面を設定し、前記仮想面を面素片qj(1≦j≦n,nおよびjは自然数)に分割し、 前記ピックアップコイルが無いときに面素片qjのうちコイル導体に対応する面素片を通り抜けていた磁束のうち、前記ピックアップコイルがあるためにコイル孔側に押しやられた磁束の、前記面素片qjを通り抜けていた磁束に対する程度を示す形状因子要素fjを前記各面素片qjについてそれぞれ求めることで、形状因子fを(1)式、 f={fj|1≦j≦n,nおよびjは自然数} ・・・(1) により算出し、 前記磁束分布画像に係る磁束分布のフーリエ変換を求め、 当該“磁束分布のフーリエ変換”に、前記形状因子を波数空間で表現した関数を乗算して、波数空間で表現した磁化を求め、これをフーリエ逆変換することで試料の表面上の磁化を得る、 ことを特徴とする走査型SQUID顕微鏡画像の高解像度化方法。
IPC (2件):
G01N 27/72 ,  G01R 33/035
FI (2件):
G01N27/72 ,  G01R33/035
Fターム (9件):
2G017AD32 ,  2G017BA18 ,  2G053AB01 ,  2G053CA03 ,  2G053CA10 ,  2G053CA20 ,  2G053CB27 ,  2G053CB29 ,  2G053DB20
引用特許:
出願人引用 (4件)
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