感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (16件)：蔵田昌俊 , 福原淑弘 , 中村誠 , 野河信久 , 白根俊郎 , 峰隆司 , 幸長保次郎 , 河野直樹 , 砂川克 , 井関守三 , 赤穂隆雄 , 井上正 , 佐藤立志 , 岡田貴志 , 堀内美保子 , 竹内将訓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-212962
公開番号（公開出願番号）：特開2013-083966
出願日： 2012年09月26日
公開日（公表日）： 2013年05月09日
要約：

【課題】高感度、良好なラフネス特性、良好なパターン形状、良好なドライエッチング耐性及び現像欠陥の低減を満足する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜、及び、パターン形成方法の提供。【解決手段】一般式(aa1-1)で表されるモノマーに由来する少なくとも1種の繰り返し単位と一般式(aa2-1)で表されるモノマーに由来する少なくとも1種の繰り返し単位を含む樹脂(Aa)と、酸の作用によりアルカリ溶解性が変化する樹脂(Ab)を含有する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

一般式(aa1-1)で表されるモノマーに由来する少なくとも1種の繰り返し単位(Aa1)と一般式(aa2-1)で表されるモノマーに由来する少なくとも1種の繰り返し単位(Aa2)を含む樹脂(Aa)と、酸の作用によりアルカリ溶解性が変化する樹脂(Ab)を含有することを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 , G03F 7/039 , G03F 7/075 , H01L 21/027

FI (5件)：

G03F7/004 501 , G03F7/004 503A , G03F7/039 601 , G03F7/075 521 , H01L21/30 502R

Fターム (69件)：

2H125AF15P , 2H125AF17P , 2H125AF18P , 2H125AF19P , 2H125AF21P , 2H125AF34P , 2H125AF36P , 2H125AF38P , 2H125AF45P , 2H125AF52P , 2H125AH05 , 2H125AH07 , 2H125AH11 , 2H125AH12 , 2H125AH19 , 2H125AH22 , 2H125AH23 , 2H125AH24 , 2H125AH29 , 2H125AJ04X , 2H125AJ04Y , 2H125AJ13Y , 2H125AJ14X , 2H125AJ14Y , 2H125AJ43X , 2H125AJ43Y , 2H125AJ44Y , 2H125AJ45X , 2H125AJ47Y , 2H125AJ48X , 2H125AJ48Y , 2H125AJ54Y , 2H125AJ60Y , 2H125AJ64X , 2H125AJ64Y , 2H125AJ65X , 2H125AJ65Y , 2H125AJ69X , 2H125AJ69Y , 2H125AM12P , 2H125AM13P , 2H125AM15P , 2H125AM22P , 2H125AM23P , 2H125AM39P , 2H125AM86P , 2H125AM99P , 2H125AN38P , 2H125AN39P , 2H125AN42P , 2H125AN56P , 2H125AN64P , 2H125AN65P , 2H125AN67P , 2H125AN82P , 2H125AN86P , 2H125AN88P , 2H125BA01P , 2H125BA26P , 2H125BA32P , 2H125BA33P , 2H125CA12 , 2H125CB08 , 2H125CB12 , 2H125CB16 , 2H125CC01 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125FA05

引用特許：

審査官引用 (4件)

感活性光線または感放射線樹脂組成物及びそれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-089799 出願人：富士フイルム株式会社
含フッ素化合物、含フッ素高分子化合物、レジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-329453 出願人：セントラル硝子株式会社
液浸露光用ネガ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-023627 出願人：東京応化工業株式会社

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