特許
J-GLOBAL ID：201303008944698190
ステージ機構およびその駆動方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
須田 篤
, 楠 修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-256202
公開番号（公開出願番号）：特開2013-108939
出願日： 2011年11月24日
公開日（公表日）： 2013年06月06日
要約：
【課題】ステージを搭載する固定ベース表面に組み込んだマイクロヒータアレイで構成されるコンパクトなアクチュエータシステムで、XY方向、ヨー回転方向の3自由度に関する長ストローク駆動、およびZ/ピッチ/ロール方向の微細駆動を実現することができるステージ機構およびその駆動方法を提供する。【解決手段】ステージ1に接触するベース2の表面近傍に、ベース2の表面の熱変形突出用の第一層目のヒータ3をXY方向にアレイ状に複数配置し、更にベース2の表面から深いところに、第一層目のヒータ3の前後左右を挟み込むように第二層目のヒータ4をXY方向にアレイ状に複数配置する。第二層目のヒータ4が、第一層目のヒータ3による熱変形突出部をXY方向に移動することにより、熱変形突出部に接触するステージ1をXYθ方向に駆動する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
固定ベース上に移動ステージが乗ったステージ機構において、前記移動ステージに接触する前記固定ベースの表面近傍に、前記固定ベース表面の熱変形突出用の第一層目のヒータをXY方向にアレイ状に複数配置し、更に前記固定ベース表面から深いところに、前記第一層目のヒータの前後左右を挟み込むように第二層目のヒータをXY方向にアレイ状に複数配置し、前記第二層目のヒータが、前記第一層目のヒータによる熱変形突出部をXY方向に移動し、前記熱変形突出部に接触する前記移動ステージをXYθ方向に駆動するよう構成されていることを特徴とするステージ機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (10件)：
2F078CA08
, 2F078CB11
, 2H052AD18
, 2H052AD24
, 5H303AA30
, 5H303BB02
, 5H303BB07
, 5H303BB12
, 5H303DD17
, 5H303MM02
