研究者
J-GLOBAL ID：201101018304570019   更新日: 2024年07月11日

清水 裕樹

Shimizu Yuki | Shimizu Yuki
所属機関・部署：
北海道大学 大学院工学研究院 機械宇宙工学部門

北海道大学 大学院工学研究院 機械宇宙工学部門 について


職名： 教授
ホームページURL (1件)： https://lrd.eng.hokudai.ac.jp/
研究分野 (3件)： 加工学、生産工学 ,  機械要素、トライボロジー ,  設計工学
研究キーワード (3件)： 超精密制御 ,  超精密加工 ,  超精密計測
競争的資金等の研究課題 (20件)：
  • 2022 - 2025 その場波面制御で自在に操る干渉定在波によるサブμm級自由微細構造の大面積露光創成
  • 2020 - 2024 光コム次元変換光学とその場自律校正法の創出によるサブアトム級3次元超精密計測
  • 2021 - 2024 次世代「つながる」超精密光計測学構築への挑戦
  • 2020 - 2023 透過フェムト秒レーザ熱検知プローブによる非接触・非破壊サブサーフェス評価への挑戦
  • 2018 - 2021 次元変換型マルチビーム角度センサでの多元情報一括検出による次世代光学素子形状計測
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論文 (251件)：
  • Nozomu Takahiro, Yuki Shimizu. A Technique for Estimating the Pitch of Interference Fringe Patterns for Pattern Exposure in a Non-Orthogonal One-Axis Lloyd’s Mirror Interferometer. International Journal of Automation Technology. 2024. 18. 1. 18-25
  • Hiraku Matsukuma, Masashi Nagaoka, Hisashi Hirose, Ryo Sato, Yuki Shimizu, Wei Gao. Repetition Frequency Control of a Mid-Infrared Ultrashort Pulse Laser. International Journal of Automation Technology. 2024. 18. 1. 84-91
  • Tomoki KITAZUME, Yuki SHIMIZU. A resolution improvement of measuring the pitch deviation of a diffraction scale grating based on the change in angles of diffraction of diffracted beams. Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing. 2024. 18. 4. JAMDSM0036-JAMDSM0036
  • Hyunsung Lim, Yuki Shimizu. Feasible Resolution of Angular Displacement Measurement by an Optical Angle Sensor Based on Laser Autocollimation. Nanomanufacturing and Metrology. 2023. 6. 1
  • Nozomu Takahiro, Yuki Shimizu. Demonstration of a non-orthogonal Lloyd’s mirror interferometer with a spatial light modulator for arbitrary two-dimensional pattern fabrication. Optics Letters. 2023. 48. 21. 5475-5475
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MISC (118件)：
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特許 (15件)：
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書籍 (3件)：
  • 計測工学
    朝倉書店 2017
  • Micro-Cutting: Fundamentals and Applications
    Wiley 2013
  • Nanofabrication
    INTECH 2011 ISBN:9789533079127
講演・口頭発表等 (139件)：
  • 精密エンコーダによる多軸精密計測
    (一般社団法人電気学会 精密サーボシステムに関する調査専門委員会 2018)
  • 光周波数コムを用いた角度計測について
    (精密工学会大会学術講演会講演論文集 2018)
  • マイクロ熱検知センサを利用したエンコーダに関する研究
    (精密工学会大会学術講演会講演論文集 2018)
  • Development of a prototype micro thermal sensor probe for non-destructive surface defect detection
    (6th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2018) 2018)
  • Uncertainty analysis of a six-degree-of-freedom surface encoder for a planar motion stage
    (The 15th CIRP Conference on Computer Aided Tolerancing (CIRP CAT 2018) 2018)
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学歴 (3件)：
  • - 2009 名古屋大学 工学研究科 機械理工学専攻
  • - 2002 東北大学 工学研究科 機械電子工学専攻
  • - 2000 東北大学 工学部 機械電子工学科
学位 (1件)：
  • 博士(工学) (名古屋大学)
経歴 (5件)：
  • 2021/10 - 現在 北海道大学 大学院工学研究院 機械宇宙工学部門 教授
  • 2020/04 - 東北大学大学院工学研究科ファインメカニクス専攻 准教授
  • 2016/04 - 東北大学大学院工学研究科ファインメカニクス専攻 准教授
  • 2011/02 - 東北大学大学院工学研究科 ナノメカニクス専攻 准教授
  • 2002/04 - 2011/01 株式会社日立製作所 機械研究所/中央研究所/研究開発本部 研究員(2006~)
委員歴 (19件)：
  • 2022/04 - 現在 日本機械学会 マイクロ・ナノ部門 委員
  • 2021/04 - 現在 日本トライボロジー学会 編集委員
  • 2021/04 - 2023/03 日本機械学会 IIP部門 広報委員会委員長
  • 2020/04 - 2021/03 日本機械学会 広報委員会副委員長
  • 2020/04 - 2021/03 日本トライボロジー学会 編集委員会
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受賞 (25件)：
  • 2022/12 - 一般財団法人FA財団 FA財団論文賞 An absolute surface encoder with a planar scale grating of variable periods
  • 2022/03 - 公益社団法人 精密工学会 精密工学会論文賞 An absolute surface encoder with a planar scale grating of variable periods
  • 2021/12 - 一般財団法人FA財団 FA財団論文賞 大面積2軸スケール格子製作のための非直交型2軸ロイドミラー干渉計の最適化設計
  • 2021/03 - 公益社団法人 精密工学会 精密工学会沼田記念論文賞
  • 2019/03 - 公益社団法人精密工学会 精密工学会沼田記念論文賞 Design and testing of a compact non-orthogonal two-axis Lloyd's mirror interferometer for fabrication of large-area two-dimensional scale grating
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所属学会 (4件)：
砥粒加工学会 ,  日本トライボロジー学会 ,  精密工学会 ,  日本機械学会
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