特許
J-GLOBAL ID：201303009427617535

圧電振動片、圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計

発明者：
小林 高志

小林 高志 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツル株式会社

セイコーインスツル株式会社 について


代理人 (3件)： 久原 健太郎 ,  内野 則彰 ,  木村 信行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-027470
公開番号（公開出願番号）：特開2013-165396
出願日： 2012年02月10日
公開日（公表日）： 2013年08月22日
要約：
【課題】振動周波数の調整精度を適切に向上させる。【解決手段】圧電振動片の振動腕部10,11の表面上の異なる位置に、単位面積当たりの質量が異なる少なくとも3種類の粗調膜21a及び粗微調膜21b及び微調膜21cからなる重り金属膜21を形成した。圧電振動片をパッケージ内に収容する前に重り金属膜21のうち粗調膜21aにレーザ光を照射して粗調膜21aの一部を除去する粗調工程を行ない、圧電振動片をパッケージ内に収容した後に、重り金属膜21のうち粗微調膜21bにレーザ光を照射して粗微調膜21bの一部を除去する粗微調工程と、微調膜21cにレーザ光を照射して微調膜21cの一部を除去する微調工程とを行なう。【選択図】図11
請求項（抜粋）：
一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部の延在方向の基端を接続する基部と、前記振動腕部の表面上に形成された重り金属膜と、を備える圧電振動片であって、前記重り金属膜は、前記振動腕部の表面上の異なる位置に形成された単位面積当たりの質量が異なる少なくとも3種類の金属膜であることを特徴とする圧電振動片。
IPC (5件)：
H03H 9/02 ,  H03H 9/10 ,  H03H 3/04 ,  H03H 9/19 ,  H03H 9/215
FI (7件)：
H03H9/02 M ,  H03H9/10 ,  H03H3/04 B ,  H03H9/19 J ,  H03H9/215 ,  H03H9/02 L ,  H03H9/02 K
Fターム (15件)：
5J108AA02 ,  5J108BB01 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC09 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG17 ,  5J108HH04 ,  5J108JJ04 ,  5J108KK06 ,  5J108NA03 ,  5J108NB05
引用特許：
審査官引用 (4件)
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