特許
J-GLOBAL ID：201303009738657433

検査装置

発明者：
深澤 和彦

深澤 和彦 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (3件)： 大西 正悟 ,  川野 宏 ,  並木 敏章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-089670
公開番号（公開出願番号）：特開2013-140187
出願日： 2013年04月22日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
要約：
【課題】大きな検査対象であっても高解像な撮像および検査が可能な検査装置を提供する。【解決手段】検査装置は、ウェハWに照明光を照射する照明系20と、照明光で照明されたウェハWで反射した光を結像する対物レンズ33と、結像したウェハWの像を撮像する撮像素子35と、ウェハWを支持し傾動させるウェハステージ10と、ウェハステージ10の傾動に応じてシャインプルーフの条件を満たすように撮像素子35を傾動させるカメラチルトステージ56とを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板に照明光を照射する照明部と、 前記照明光で照明された前記基板で反射した光を結像する観察光学系と、 前記結像した基板の像を撮像する撮像素子と、 前記基板を支持し傾動させる基板ステージと、 前記基板ステージの傾動に応じてシャインプルーフの条件を満たすように前記撮像素子を傾動させる撮像素子傾動部とを備える検査装置。
IPC (1件)：
G01N 21/956
FI (1件)：
G01N21/956 A
Fターム (17件)：
2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA05 ,  2G051BB11 ,  2G051BB17 ,  2G051BC01 ,  2G051CA04 ,  2G051CB06 ,  2G051CC09 ,  2G051CC11 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA12 ,  2G051ED01 ,  2G051FA00 ,  2G051GC04
引用特許：
審査官引用 (4件)
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