特許
J-GLOBAL ID：201303013389262091
保持テーブル
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 大上 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-237617
公開番号（公開出願番号）：特開2013-098248
出願日： 2011年10月28日
公開日（公表日）： 2013年05月20日
要約：
【課題】ウエーハの円形凹部の深さに応じて複数の保持テーブルを保有する場合でも従来に比べて費用を抑制できるとともに、保持テーブルの交換で発生する作業性を改善可能な保持テーブルを提供する。【解決手段】裏面に形成された円形凹部と該円形凹部を囲繞する環状補強部とを有するウエーハを保持する保持テーブル2であって、前記円形凹部を嵌合して保持する凹部保持部10が上端に形成された円柱状立ち上がり部12と、その回りを囲繞するスペーサ支持部8とを有し、一端が凹部保持部10に連通して他端に第1吸引路が形成されたハット状ベース4と、ハット状ベース4のスペーサ支持部8に着脱可能に装着され円柱状立ち上がり部12が嵌合される開口を有する環状スペーサ6とを具備し、環状スペーサ6の厚みはハット状ベース4の円柱状立ち上がり部12の厚みから前記ウエーハの前記円形凹部の深さを減じた値に基づいて設定される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
裏面に形成された円形凹部と該円形凹部を囲繞する環状補強部とを有するウエーハを表面が露出した状態に保持する保持テーブルであって、
該円形凹部に嵌合して該円形凹部を保持する凹部保持部が上端に形成された円柱状立ち上がり部と、該凹部保持部より下方で該円柱状立ち上がり部を囲繞するスペーサ支持部とを有し、一端が該凹部保持部に連通して他端が吸引源に接続される第1吸引路が形成されたハット状ベースと、
該ハット状ベースの該スペーサ支持部に着脱可能に装着され該円柱状立ち上がり部が嵌合される開口を有する環状スペーサとを具備し、
該環状スペーサの厚みは該ハット状ベースの該円柱状立ち上がり部の厚みからウエーハの該円形凹部の深さを減じた値に基づいて設定されることを特徴とする保持テーブル。
IPC (2件)：
H01L 21/683
, H01L 21/301
H01L21/68 P
, H01L21/78 N
5F031CA02
, 5F031DA13
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031HA03
, 5F031HA05
, 5F031HA13
, 5F031HA59
, 5F031HA78
, 5F031MA26
, 5F031MA34
, 5F031MA37
, 5F031PA20
