特許

J-GLOBAL ID：201303013808604194

導波路及びその製造方法、ならびに電磁波分析装置

発明者： 小山 泰史
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-173724
公開番号（公開出願番号）：特開2013-070361
出願日： 2012年08月06日
公開日（公表日）： 2013年04月18日
要約：

【課題】電磁波を効率的に利用出来る発振素子、電磁波検出素子、電磁波増幅素子などの導波路、その製造方法、ならびに該導波路を用いる電磁波分析装置を提供する。【解決手段】導波路100は、電磁波に対する誘電率実部が負である第一の導体層103と第二の導体層104との間を電磁波が導波する導波路である。電磁波が出射または入射する導波路100の部分に、テーパー構造115を備え、光軸に垂直なテーパー構造の空間断面が、テーパー構造の最外部の開口面に近づくに従って、少なくとも光軸と直交する1つの方向に光軸を挟んで両側に広がる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

電磁波に対する誘電率実部が負である第一の導体層と第二の導体層との間を前記電磁波が導波する導波路であって、 電磁波が出射または入射する当該導波路の部分に、テーパー構造を備え、 光軸に垂直な前記テーパー構造の空間断面が、該テーパー構造の最外部の開口面に近づくに従って、少なくとも前記光軸と直交する1つの方向に前記光軸を挟んで両側に広がることを特徴とする導波路。

IPC (3件)：

H01Q 13/02 ,  H01S 1/02 ,  G01N 21/35

FI (3件)：

H01Q13/02 ,  H01S1/02 ,  G01N21/35 Z

Fターム (13件)：

2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059BB12 ,  2G059BB15 ,  2G059CC12 ,  2G059EE01 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ17 ,  5J045AA06 ,  5J045DA01 ,  5J045MA07

引用特許：

出願人引用 (3件)

• レーザ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-150923   出願人：キヤノン株式会社
• 建造物の検査方法および検査システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-355382   出願人：財団法人半導体研究振興会
• アンテナアレイ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-228479   出願人：大学共同利用機関法人自然科学研究機構

審査官引用 (3件)

• レーザ素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-150923   出願人：キヤノン株式会社
• 建造物の検査方法および検査システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-355382   出願人：財団法人半導体研究振興会
• アンテナアレイ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-228479   出願人：大学共同利用機関法人自然科学研究機構