特許

J-GLOBAL ID：201303014962688461

研磨パッド用補助板および研磨装置

発明者： 鈴木 辰俊 ,  鈴木 英資
出願人/特許権者： 東邦エンジニアリング株式会社
代理人 (2件)： 笠井 美孝 ,  中根 美枝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-200595
公開番号（公開出願番号）：特開2013-059831
出願日： 2011年09月14日
公開日（公表日）： 2013年04月04日
要約：

【課題】化学的機械研磨に際して研磨パッド表面の温度を速やかに且つ省エネルギー効率をもって昇温して適温に維持することができる、新規な構造の研磨パッド用補助板と研磨装置を提供すること。【解決手段】研磨パッド16を重ね合わせて固着状態で支持するパッド支持面を表面40に有していると共に、裏面42において回転定盤14に重ね合わされて着脱可能に装着される装着面を有している研磨パッド用補助板10において、通電により補助板本体38(パッド支持面40)を昇温して適温に維持する通電式温度制御手段50を設けた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

研磨パッドが重ね合わされて固着状態で支持されるパッド支持面を表面に有していると共に、裏面において回転定盤に重ね合わされて着脱可能に装着される装着面を有しており、更に、通電により該パッド支持面を昇温して適温に維持する通電式温度制御手段が設けられていることを特徴とする研磨パッド用補助板。

IPC (4件)：

B24B 37/015 ,  B24B 37/00 ,  B24B 49/14 ,  H01L 21/304

FI (5件)：

B24B37/00 J ,  B24B37/00 K ,  B24B49/14 ,  H01L21/304 622R ,  H01L21/304 622F

Fターム (26件)：

3C034AA13 ,  3C034AA19 ,  3C034CA19 ,  3C034CB11 ,  3C034DD10 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC02 ,  3C058AC04 ,  3C058BA08 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  5F057AA12 ,  5F057AA23 ,  5F057AA39 ,  5F057BA11 ,  5F057CA11 ,  5F057DA03 ,  5F057EC10 ,  5F057FA24 ,  5F057FA42 ,  5F057GA04 ,  5F057GA07 ,  5F057GB07 ,  5F057GB40

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭53-068493
  
• 特開昭63-245368
  
• 化学的機械研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-052129   出願人：ソニー株式会社