多チャネル光導波路型受光デバイス

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 近藤伊知良 , 寺澤正太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-203724
公開番号（公開出願番号）：特開2013-065714
出願日： 2011年09月16日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：

【課題】バイパスコンデンサと受光素子との間の配線長を短く揃えることが可能な受光デバイスを提供する。【解決手段】受光デバイス1Aにおいて、光分岐部12、受光素子部13a〜13d、及びキャパシタ14a〜14dは、共通の光導波路基板10に形成されている。信号増幅部50A,50Bの信号入力用電極パッド51a〜51d、及び受光素子部13a〜13dは、光導波路基板10の端縁10bに沿って配置されている。受光素子部13a〜13dの信号出力用電極は、信号入力用電極パッド51a〜51dにワイヤボンディングされている。キャパシタ14a〜14dは、受光素子部13a〜13dに対し並んで配置されており、それらの基準電位側電極パッド18a〜18dと、信号増幅部50A,50Bの基準電位用電極パッド52a,52c,52d及び52fとが互いにワイヤボンディングされている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

四位相偏移変調方式によって変調された第1〜第4の信号成分を含む光信号を入力する入力ポートと、前記入力ポートに光結合され、前記光信号を前記第1〜第4の信号成分に分岐する光分岐部と、前記光分岐部から出力された前記第1〜第4の信号成分の光強度に応じた電気信号をそれぞれ生成する第1〜第4の受光素子部と、前記第1〜第4の受光素子部それぞれにバイアス電圧を供給する第1〜第4の配線と、前記バイアス電圧が供給される前記第1〜第4の受光素子部の電極と基準電位線との間に電気的に接続された第1〜第4のキャパシタと、前記第1〜第4の受光素子部から出力された電気信号を増幅する信号増幅部とを備え、前記光分岐部、前記第1〜第4の受光素子部、及び前記第1〜第4のキャパシタが、共通の光導波路基板に形成されており、前記信号増幅部の第1〜第4の信号入力用電極が、前記光導波路基板の第1の方向に延びる一端縁に沿ってこの順で配置されており、前記第1〜第4の受光素子部が前記光導波路基板において前記一端縁に沿ってこの順で配置されており、前記第1〜第4の受光素子部それぞれの信号出力用電極が、前記信号増幅部の前記第1〜第4の信号入力用電極と第1〜第4のボンディングワイヤそれぞれを介して電気的に接続されており、前記第1〜第4のキャパシタそれぞれが、前記第1〜第4の受光素子部それぞれに対し前記第1の方向に並んで配置されており、前記第1〜第4のキャパシタの基準電位側電極にそれぞれの一端が接続された第5〜第8のボンディングワイヤが前記第1〜第4のボンディングワイヤに沿って設けられており、該第5〜第8のボンディングワイヤの各他端が前記信号増幅部の第1〜第4の基準電位用電極に接続されている、ことを特徴とする多チャネル光導波路型受光デバイス。

IPC (1件)：

H01L 31/10

FI (1件)：

H01L31/10 G

Fターム (5件)：

5F049NA17 , 5F049NB01 , 5F049UA01 , 5F049UA07 , 5F049UA20

引用特許：

審査官引用 (1件)

受光素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-231073 出願人：三菱電機株式会社

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