計測器、計測器制御装置、計測システム、測定処理実行方法及び半導体試験装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華明裕
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-239991
公開番号（公開出願番号）：特開2001-067579
特許番号：特許第4972245号
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ネットワークに接続され、予め定められた測定処理を行う計測部を有する計測器であって、前記計測部に前記測定処理を実行させるオブジェクトを生成するためのクラスを指定する制御プログラムを、前記ネットワークを介して受信するプログラム受信部と、前記制御プログラムで指定されるクラスを予め記憶する記憶部と、前記制御プログラムの実行開始指示を受け付ける開始指示受付部と、前記開始指示受付部により前記実行開始指示が受け付けられた場合に、前記プログラム受信部で受信した前記制御プログラムを実行するプログラム実行部と、を備え、前記プログラム実行部は、前記プログラム受信部で受信した前記制御プログラムを実行して、前記制御プログラムで指定されたクラスによりオブジェクトを生成し、生成したオブジェクトに応じた測定処理を前記計測部に実行させる計測制御部を有することを特徴とする計測器。

IPC (4件)：

G08C 15/00 ( 200 6.01) , G01D 21/00 ( 200 6.01) , G06F 17/40 ( 200 6.01) , G01R 31/28 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G08C 15/00 E , G01D 21/00 M , G06F 17/40 310 B , G01R 31/28 H

引用特許：

審査官引用 (5件)

測定システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-293628 出願人：株式会社アドバンテスト
トータルステーション
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-093769 出願人：旭光学工業株式会社
特公平1-027470

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