特許
J-GLOBAL ID：201303018559689771
ロータリーマグネトロンマグネットバー、およびこれを含む高いターゲット利用のための装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
村山 靖彦
, 志賀 正武
, 渡邊 隆
, 実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-536955
公開番号（公開出願番号）：特表2013-508565
出願日： 2010年10月26日
公開日（公表日）： 2013年03月07日
要約：
2つの直線部、および前記直線部を接続する、少なくとも1つの末端転回部を有するレーストラック型プラズマ源を含む、基材にコーティングする装置が提供される。コーティングの構成要素を形成する、ターゲット材料で形成されたチューブ状ターゲットは、終端部を有する。ターゲットは、ターゲット材料のスパッタリングのためにプラズマ源の近位にある。ターゲットはチューブ状の裏当てカソードに固定され、両者は中心軸を中心として回転可能である。ターゲットがコーティングを基材上に堆積するために利用されるのにともない、磁石の組が、カソードの内側に、ターゲットの終端部に向かう末端転回に整列された侵食ゾーンを移動するために配設される。ターゲットの初期重量の最高87重量%の、ターゲットの利用が達成される。
請求項（抜粋）：
基材をコーティングするための装置であって、
2つの直線部および前記直線部を接続する少なくとも1つの末端転回部を有するレーストラック型プラズマ源と、
終端部を有し、前記プラズマ源の近位にあるチューブ状のターゲットと、
前記ターゲットがそこに固定される、チューブ状の裏当てカソードであって、前記カソードおよび前記チューブ状のターゲットが中心軸を中心として回転可能である、裏当てカソードと、
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
4K029BA03
, 4K029BA23
, 4K029BA44
, 4K029CA06
, 4K029DC03
, 4K029DC04
, 4K029DC13
, 4K029DC39
, 4K029DC43
, 4K029DC45
