特許
J-GLOBAL ID：201303018829920888

配線欠陥検出装置、配線欠陥検出方法、配線欠陥検出プログラムおよび配線欠陥検出プログラム記録媒体

発明者：
山田 栄二

山田 栄二 について

, 
柳瀬 正和

柳瀬 正和 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-078135
公開番号（公開出願番号）：特開2013-205393
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：
【課題】真欠陥の検出率を向上させて効率的な配線欠陥検査を行うことができる配線欠陥検出装置、配線欠陥検出方法、配線欠陥検出プログラムおよび配線欠陥検出プログラム記録媒体を提供する。【解決手段】本発明の一形態に係る配線欠陥検出装置および方法は、電圧を印加した液晶パネルをマクロ測定用赤外線カメラで撮影し、得られた画像から、液晶パネルの画素部と周辺回路部とにそれぞれ発熱箇所が在るかを特定し、それぞれの発熱箇所が同一電流経路にあるか否かを判定して、同一電流経路にあれば周辺回路部に特定された発熱箇所のミクロ撮影優先順位を、画素部に特定された発熱箇所のミクロ撮影優先順位よりも下げる。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
アクティブ素子がマトリクス状に配設されたアクティブエリアと、当該アクティブエリアの周囲にある周辺エリアとに渡って配された配線を有する配線パネルの配線の欠陥の検出をおこなうための配線欠陥検出装置であって、 上記配線の端子に電圧を印加する電圧印加手段と、 上記電圧印加手段によって上記電圧が印加された配線を含む、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域を、赤外線カメラによってマクロ撮影するマクロ撮影手段と、 上記赤外線カメラによって得られる赤外画像から、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに、発熱箇所が在るか否かを特定する発熱箇所特定手段と、 上記発熱箇所特定手段にて上記周辺エリアの少なくとも一部の領域およびアクティブエリアの少なくとも一部の領域のそれぞれに発熱箇所が在ると特定された場合、上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所と、上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所とが、電圧印加時において同一電流経路にあるかを判定する判定手段と、 上記判定手段にて上記同一電流経路にあると判定された場合、当該同一電流経路にある上記アクティブエリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影を、当該同一電流経路にある上記周辺エリアの少なくとも一部の領域に在る発熱箇所を含む領域のミクロ撮影よりも優先しておこなうよう撮影優先順位を調整する調整手段と、 上記調整手段によって調整された撮影優先順位に基づいてミクロ撮影するミクロ撮影手段と、を備えていることを特徴とする配線欠陥検出装置。
IPC (5件)：
G01R 31/00 ,  G01B 11/00 ,  G01R 31/02 ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/134
FI (5件)：
G01R31/00 ,  G01B11/00 H ,  G01R31/02 ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1345
Fターム (29件)：
2F065AA03 ,  2F065AA18 ,  2F065BB02 ,  2F065CC00 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG09 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ28 ,  2G014AA03 ,  2G014AB21 ,  2G014AB59 ,  2G014AC09 ,  2G036AA18 ,  2G036AA22 ,  2G036AA25 ,  2G036BA33 ,  2G036BB12 ,  2G036CA06 ,  2H088FA11 ,  2H088MA20 ,  2H092MA56 ,  2H092NA27
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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