特許
J-GLOBAL ID：201303020288370086

ピックアップ方法およびピックアップ装置

発明者：
末田 哲也

末田 哲也 について


出願人/特許権者：
キヤノンマシナリー株式会社

キヤノンマシナリー株式会社 について


代理人 (3件)： 城村 邦彦 ,  熊野 剛 ,  前田 礼子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-091218
公開番号（公開出願番号）：特開2013-222715
出願日： 2012年04月12日
公開日（公表日）： 2013年10月28日
要約：
【課題】衝撃緩和部材(クッション材)等を追加したりすることなく、また、サイクルタイムが遅くなることなくチップをピックアップすることが可能なピックアップ方法およびピックアップ装置を提供する。【解決手段】コレット13が下降してきてチップ11に接触した際には、押し上げ手段Mにて、チップ11はコレット13の押圧力よりも小さい押し上げ力にて押し上げられている。コレット13の下降とともに、チップ11は押し上げ手段Mによる押し上げ力に抗して、下降する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
粘着シート上のチップを、ピップアップ位置上方のコレットを下降させてこのコレットにて吸着してピップアップするピックアップ方法であって、 コレットが下降して最下点に到達した際に、コレットがチップに接触するときは、コレットがチップに接触する際の押圧力よりも小さい押し上げ力にてチップ側を押し上げた状態で、コレットを下降させてチップに接触させることを特徴とするピックアップ方法。
IPC (1件)：
H01L 21/52
FI (1件)：
H01L21/52 F
Fターム (7件)：
5F047AA11 ,  5F047AA17 ,  5F047FA02 ,  5F047FA08 ,  5F047FA09 ,  5F047FA12 ,  5F047FA15
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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