特許
J-GLOBAL ID:201303021532504266

半導体記憶装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-277937
公開番号(公開出願番号):特開2013-149970
出願日: 2012年12月20日
公開日(公表日): 2013年08月01日
要約:
【課題】高速動作及び低消費電力化した半導体記憶装置を提供する。さらに、単位面積あたりの記憶容量を増加させ、キャパシタの容量を増加させた半導体記憶装置を提供する。【解決手段】ワード線WL、ビット線BL、第1のキャパシタCb、第2のキャパシタCf及びトランジスタTrを有するサブメモリセルSCLを、二以上有するメモリセルCLを有し、メモリセルCLにおいて、サブメモリセルSCLが積層して形成され、トランジスタは、半導体膜を介して第1のゲート及び第2のゲートが設けられ、第1のゲート及び第2のゲートはワード線WLと接続され、トランジスタのソース及びドレインの一方はビット線BLと接続され、トランジスタのソース及びドレインの他方は第1のキャパシタCb及び第2のキャパシタCfと接続され、サブメモリセルSCLそれぞれにおけるトランジスタの第1のゲート及び第2のゲートが重畳し、かつ接続する半導体記憶装置である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ワード線、ビット線、第1のキャパシタ、第2のキャパシタ及びトランジスタを有するサブメモリセルを、二以上有するメモリセルを有し、 前記メモリセルにおいて、前記サブメモリセルが積層して形成され、 前記トランジスタは、半導体膜を介して第1のゲート及び第2のゲートが形成され、 前記第1のゲート及び前記第2のゲートは前記ワード線と接続され、 前記トランジスタのソース及びドレインの一方は前記ビット線と接続され、 前記トランジスタの前記ソース及びドレインの他方は前記第1のキャパシタ及び前記第2のキャパシタと接続され、 前記トランジスタの前記第1のゲート及び前記第2のゲートが重畳し、かつ接続されていることを特徴とする半導体記憶装置。
IPC (7件):
H01L 27/105 ,  H01L 29/786 ,  H01L 27/10 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/088 ,  H01L 27/08 ,  H01L 27/06
FI (12件):
H01L27/10 441 ,  H01L29/78 613B ,  H01L29/78 618B ,  H01L27/10 495 ,  H01L27/10 481 ,  H01L27/10 461 ,  H01L27/08 102D ,  H01L27/08 102E ,  H01L27/08 102H ,  H01L27/08 331E ,  H01L27/06 102A ,  H01L27/10 311
Fターム (137件):
5F048AB01 ,  5F048AC01 ,  5F048AC10 ,  5F048BA01 ,  5F048BA14 ,  5F048BA16 ,  5F048BB02 ,  5F048BB09 ,  5F048BB11 ,  5F048BB12 ,  5F048BB14 ,  5F048BC03 ,  5F048BF16 ,  5F048BG12 ,  5F048BG13 ,  5F048CB02 ,  5F048CB03 ,  5F083AD02 ,  5F083AD49 ,  5F083AD53 ,  5F083AD69 ,  5F083GA01 ,  5F083GA06 ,  5F083GA10 ,  5F083GA25 ,  5F083GA27 ,  5F083HA02 ,  5F083HA06 ,  5F083HA10 ,  5F083JA02 ,  5F083JA03 ,  5F083JA05 ,  5F083JA12 ,  5F083JA35 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA39 ,  5F083JA44 ,  5F083JA56 ,  5F083JA60 ,  5F083KA01 ,  5F083KA05 ,  5F083LA00 ,  5F083LA11 ,  5F083NA01 ,  5F083PR03 ,  5F083PR33 ,  5F083PR34 ,  5F083PR40 ,  5F083ZA04 ,  5F083ZA13 ,  5F083ZA14 ,  5F110AA01 ,  5F110AA04 ,  5F110AA05 ,  5F110AA09 ,  5F110BB03 ,  5F110BB06 ,  5F110BB11 ,  5F110CC01 ,  5F110CC02 ,  5F110CC03 ,  5F110CC05 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD07 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE08 ,  5F110EE09 ,  5F110EE11 ,  5F110EE14 ,  5F110EE30 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF27 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG06 ,  5F110GG12 ,  5F110GG13 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG16 ,  5F110GG17 ,  5F110GG23 ,  5F110GG32 ,  5F110GG34 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44 ,  5F110GG51 ,  5F110GG52 ,  5F110GG55 ,  5F110GG57 ,  5F110GG58 ,  5F110HJ01 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ23 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL07 ,  5F110HL11 ,  5F110HL12 ,  5F110NN04 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN28 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN72 ,  5F110NN74 ,  5F110QQ19
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (7件)
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