特許
J-GLOBAL ID：201303022347619576
SF6ガス回収装置及びSF6ガス回収方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-023900
特許番号：特許第5002080号
出願日： 2012年02月07日
要約：
【課題】SF6ガスの回収時間を含めたSF6ガス封入機器の運転停止時間が1時間同等の時間以内がよいとする要求を達成できるように、SF6ガス封入機器の回収時間を短縮できる経済的なSF6ガス回収装置を提供する。
【解決手段】本実施例のSF6ガス回収装置100は、SF6ガス封入機器1からSF6ガス10を、第1回収ホース6を介して、回収するための前段真空ポンプ2、第2回収ホース6を介して、SF6ガス10が導かれる後段真空ポンプ3、SF6ガス10を回収用タンク5に充填するための圧縮機4、制御手段20及び後段真空ポンプ3からの圧縮機4へのSF6ガス10の流れを制御する弁11、12を備え、制御手段20は、後段真空ポンプ4へ導かれるSF6ガス10の圧力に基づいて、弁11、12を制御して、後段真空ポンプ3へ導かれるSF6ガス10の圧力を30〜100kPaの範囲内に制御する。
【選択図】図1
請求項（抜粋）：
【請求項1】 SF6ガスが封入されているSF6ガス封入機器から前記SF6ガスを回収し、回収用タンクに前記SF6ガスを充填するためのSF6ガス回収装置であって、
前記SF6ガス封入機器から前記SF6ガスを、第1回収ホースを介して、回収するための前段真空ポンプと、
前記前段真空ポンプから、第2回収ホースを介して、前記SF6ガスが導かれる後段真空ポンプと、
前記後段真空ポンプからの前記SF6ガスを前記回収用タンクに充填するための圧縮機と、
制御手段及び前記後段真空ポンプからの前記圧縮機への前記SF6ガスの流れを制御する弁を備え、前記制御手段は、前記前段真空ポンプから前記後段真空ポンプへ導かれる前記SF6ガスの圧力に基づいて、前記SF6ガスの流れを制御する弁を制御して、前記前段真空ポンプから前記後段真空ポンプへ導かれる前記SF6ガスの圧力を30〜100kPaの範囲内に制御することを特徴とするSF6ガス回収装置。
IPC (2件)：
H02B 13/055 ( 200 6.01)
, C01B 17/45 ( 200 6.01)
H02B 13/06 M
, C01B 17/45 G
