特許
J-GLOBAL ID：200903085699736091
六フッ化硫黄ガス回収装置および方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-258631
公開番号（公開出願番号）：特開2004-091298
出願日： 2002年09月04日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：
【課題】最終の廃棄施設へ輸送効率のよい液化状態で搬送可能となるような回収手段、方法を採用し、簡易にSF6ガスを回収できるシステムおよび方法を提供する。【解決手段】六フッ化硫黄ガスの液化手段と、液化した六フッ化硫黄回収容器と、該液化六フッ化硫黄回収容器の上部に滞留する空気および六フッ化硫黄ガスの混合ガスを排出する排出手段と、該排出手段に設けられ、排出された空気の混入量を計測する計測手段と、該計測手段によって計測された空気の混入量に基づいて制御される圧力調整手段と、排出された混合ガスから一部の空気を分離する膜分離手段とから循環系を形成し、該循環系に、空気が混入した六フッ化硫黄ガスを投入する投入手段を接続し、かつ前記六フッ化硫黄回収容器から液化六フッ化硫黄回収する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
六フッ化硫黄ガスを液化して液化六フッ化硫黄として回収する六フッ化硫黄回収システムにおいて、
六フッ化硫黄ガスの液化手段と、液化した液化六フッ化硫黄回収手段と、該液化六フッ化回収手段に滞留する空気とおよび六フッ化硫黄を排出する排出手段と、六フッ化硫黄ガスと空気との混合ガス中の空気の混入量を計測する計測手段によって計測された空気の混入量データに基づいて圧力制御する圧力調整手段と、混合ガスを循環して前記圧力制御の下に、一部の空気を分離する空気分離手段とから循環回収系統を形成し、混合ガスから繰り返して六フッ化硫黄ガスを回収すること
を特徴とする六フッ化硫黄回収装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
4D047AA07
, 4D047AB00
, 4D047BA03
, 4D047BA06
