特許
J-GLOBAL ID：201303022500016169

変位検出装置、目盛の校正方法及び目盛の校正プログラム

発明者：
木村 彰秀

木村 彰秀 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (2件)： 伊丹 勝 ,  田村 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-233748
公開番号（公開出願番号）：特開2013-092414
出願日： 2011年10月25日
公開日（公表日）： 2013年05月16日
要約：
【課題】容易且つ安価に構成でき、高精度な目盛の測定誤差の校正を可能とする。【解決手段】光電式エンコーダ100は、スケール10、検出ユニット20、演算部30を有する。検出ユニット20は、少なくとも3つの検出部21〜23を有する。各検出部は、第1検出部21及び第2検出部22間の測定点の間隔が、物理的に配置可能な最小間隔dとなるように配置され、第2検出部22及び第3検出部23間の測定点の間隔が、最小間隔dよりも大きな間隔となるように配置される。第1検出部21の測定点の出力を1ステップ前の他の検出部の測定点に合わせるように制御しつつ検出ユニット20をステップさせてサンプリングを行う。各検出部の測定点の間隔がすべてd以上となるにもかかわらず、d以下のサンプリング間隔で測定誤差を算出し、自律校正曲線を得てスケールの位置情報を補正することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光学格子を有するスケールと、 前記スケールに対して走査方向に相対移動可能に配置されると共に、前記光学格子から位置情報を検出する少なくとも第1の検出部、第2の検出部及び第3の検出部を有するn個(nは3以上の整数)の検出部を前記走査方向に配列してなる検出ユニットと、 前記検出ユニットにより検出された前記位置情報に基づいて、前記検出部の位置を特定すると共に測定誤差を算出して前記スケールの目盛の自律校正曲線を得る演算部とを備え、 前記検出ユニットは、前記第1の検出部と前記第2の検出部の間隔と、前記第2の検出部と前記第3の検出部の間隔とが、互いに異なり且つ整数倍でなく、 前記演算部は、前記第1〜第3の検出部のうちの1つの検出部が検出した位置情報を他の検出部が検出するまで前記検出ユニットを前記走査方向に移動させる動作を繰り返し、前記検出された位置情報と当該位置情報を検出した検出部の間隔とから測定誤差を演算し、前記スケールの目盛の自律校正曲線を得る ことを特徴とする変位検出装置。
IPC (3件)：
G01D 5/36 ,  G01D 5/347 ,  G01D 5/244
FI (3件)：
G01D5/36 W ,  G01D5/347 110S ,  G01D5/244 B
Fターム (16件)：
2F077AA20 ,  2F077CC08 ,  2F077NN27 ,  2F077PP19 ,  2F103BA08 ,  2F103BA36 ,  2F103CA01 ,  2F103CA03 ,  2F103DA01 ,  2F103DA06 ,  2F103DA11 ,  2F103DA12 ,  2F103DA13 ,  2F103EA15 ,  2F103EB16 ,  2F103ED12
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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