特許
J-GLOBAL ID：200903025500826116

長尺体の表面形状測定方法および表面形状測定装置

発明者：
清野 慧

清野 慧 について

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清水 浩貴

清水 浩貴 について

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菊地 正人

菊地 正人 について


出願人/特許権者：
清水 浩貴

清水 浩貴 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-066375
公開番号（公開出願番号）：特開2008-224578
出願日： 2007年03月15日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：
【課題】オートコリメータでは高精度測定ができない長さが1m以上の長尺状物の表面形状(真直度)を複数の変位センサを用いて測定する。【解決手段】3本の変位センサA,B,Cをピッチ間隔p毎に直列にアーム311に固定し、テーブル上に固定された被測定物の真直度を、オートコリメータが高精度に測定できる作動範囲ではオートコリメータにより測定される値を用いて2本の変位センサA,Bにより2点法で検出された真直度値のピッチングの補正を行って初期真直度値データ列を得、オートコリメータが高精度に測定できない作動範囲における真直度の測定においては第三の変位センサCより検出される真直度値で測定基準を作り、この測定基準の測定点の値を基準にして変位センサA,Bによる2点法の出力からピッチングを検出し、それを使用してピッチング補正しながら次々に繰り返して測定範囲を広げて延長真直度値データ列を得、真直度曲線を出力する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
3本の変位センサA,B,Cをピッチ間隔p毎に直列にアームに固定し、テーブル上に固定された被測定物の真直度を前記アームまたはテーブル直線方向の移動により被測定物の真直度を測定する方法において、オートコリメータが高精度に測定できる作動範囲ではオートコリメータにより測定される値を用いて2本の変位センサA,Bにより2点法で検出された真直度値のピッチングの補正を行って初期真直度値データ列を得、オートコリメータが高精度に測定できない作動範囲における被測定物の真直度の測定においては1)前記2本の第一変位センサAおよび第二変位センサBが並ぶ直線延長上先に第二変位センサBとはピッチ間隔pで設けられた第三の変位センサCより検出される出力と前記第一変位センサAの出力と、前記第二変位センサBの出力とを関連づけ、既に得られている前記初期真直度値データ列を測定基準と見做し、その真直度値データ列中の最後に得られた2点の出力値と合成することで前記初期真直度値データ列の延長上かつピッチpだけ離れた点の直度値出力を得、2)この新しく得られた直度値出力をも前記初期真直度値データ列に加えた延長真直度値データ列を新たな測定基準として更に次ぎのピッチpだけ離れた点の直度値出力を前記延長真直度値データ列に加えるピッチング補正を次々に繰り返して測定範囲を広げて延長真直度値データ列を得、真直度曲線を出力することを特徴とする、長尺体の表面形状測定方法。
IPC (2件)：
G01B 21/30 ,  G01B 21/20
FI (2件)：
G01B21/30 101F ,  G01B21/20 C
Fターム (26件)：
2F069AA55 ,  2F069AA62 ,  2F069CC06 ,  2F069EE04 ,  2F069EE23 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG50 ,  2F069GG59 ,  2F069GG63 ,  2F069GG64 ,  2F069HH09 ,  2F069HH14 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ14 ,  2F069MM24 ,  2F069MM26 ,  2F069MM34 ,  2F069NN06 ,  2F069NN16 ,  2F069NN21 ,  2F069PP01 ,  2F069QQ07 ,  2F069QQ13
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (5件)
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