特許
J-GLOBAL ID：201303022674771675

複数の真空装置の省エネルギ-化を図る真空ポンプシステム

発明者：
齊藤 和男

齊藤 和男 について


出願人/特許権者：
有限会社スコットプランニング

有限会社スコットプランニング について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-024508
公開番号（公開出願番号）：特開2013-148076
出願日： 2012年01月23日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
要約：
【課題】 複数の真空装置を稼働させる際に電力量を軽減する真空ポンプシステムを構成する。【解決手段】 枠体の下方床面に複数の一次側真空ポンプを並列に設置し、一次側真空ポンプの各吸気口を枠体一段目下部に設けた一次側ヘッダーに接続し、枠体の一段目上部に複数の二次側真空ポンプを並列に設置し、二次側真空ポンプの各排気口を一次側ヘッダーに接続し、二次側真空ポンプの各吸気口を二段目下部に設けた二次側ヘッダーに接続し、枠体の二段目上部に複数の三次側真空ポンプを並列に設置し、三次側真空ポンプの各排気口を二次側ヘッダーに接続し、三次側真空ポンプの各吸気口を三段目下部に設けた三次側ヘッダーに接続し、複数の真空装置を必要真空度に応じた各ヘッダーに接続し、各ヘッダー内に真空圧力センサを設け、該圧力センサが検知した真空圧力に応じて集中制御装置が全ての真空ポンプの起動停止動作を制御する真空ポンプシステムを構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の真空装置の真空排気を行うべく真空装置側から順に複数の三次側真空ポンプと複数の二次側真空ポンプと複数の大気から減圧できる一次側真空ポンプの3段の真空ポンプが設けられた真空ポンプシステムにおいて、 3段にて構成される枠体の1段目下部に当該接続する前記全真空装置の同時真空排気に対応できる排気量の容積を持つ円柱形の一次側ヘッダ-を設け、前記一次側ヘッダ-の下方床面に前記複数の大気から減圧できる一次側真空ポンプを並列に設置し、前記複数の一次側真空ポンプの各吸気口を前記一次側ヘッダ-に接続し、前記枠体の2段目下部に当該接続する前記全真空装置の同時真空排気に対応できる排気量の容積を持つ円柱形の二次側ヘッダ-を設け、前記枠体の1段目上部に前記複数の二次側真空ポンプを並列に設置し、前記複数の二次側真空ポンプの各排気口を前記一次側ヘッダ-に接続し、前記複数の二次側真空ポンプの各吸気口を前記二次側ヘッダ-に接続し、前記枠体の3段目下部に当該接続する前記全真空装置の同時真空排気に対応できる排気量の容積を持つ円柱形の三次側ヘッダ-を設け、前記枠体の2段目上部に前記複数の三次側真空ポンプを並列に設置し、前記複数の三次側真空ポンプの各排気口を前記二次側ヘッダ-に接続し、前記複数の三次側真空ポンプの各吸気口を前記三次側ヘッダ-に接続し、前記複数の真空装置を各真空装置の必要真空度に応じて前記一次側ヘッダ-と前記二次側ヘッダ-と前記三次側ヘッダ-のうちのいずれかに接続することを特徴とする真空ポンプシステム。
IPC (1件)：
F04B 37/16
FI (1件)：
F04B37/16 D
Fターム (8件)：
3H076AA21 ,  3H076AA35 ,  3H076BB21 ,  3H076BB41 ,  3H076BB43 ,  3H076CC07 ,  3H076CC94 ,  3H076CC95
引用特許：
出願人引用 (5件)
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