エネルギー消費を制限しながら、エンクロージャを迅速に排気すること

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：川口義雄 , 小野誠 , 渡邉千尋 , 金山賢教 , 大崎勝真 , 坪倉道明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-101399
公開番号（公開出願番号）：特開2006-291952
出願日： 2006年04月03日
公開日（公表日）： 2006年10月26日
要約：

【課題】エネルギー消費を制限しながら、エンクロージャを迅速に排気することを提供する。【解決手段】本発明の真空ポンプ装置が、複数の連続的な構成で、段5、6、7、8が並列に接続され、次いで、直列に接続されることが連続的に行われる多段ドライメカニカルポンプ2を駆動するモータ1を含み、構成のそれぞれは、現在の圧力範囲において排気速度を最適化するように選択される。これにより、同一の排気の速さを得るのに十分な速度を有する従来のポンプと比べて、約40%、ポンプの容積、およびポンプによって消費されるエネルギーを低減しながら、エンクロージャ100内部の圧力を迅速に低下させることが可能になる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

吸気口(5c〜8c)と、排気口(5d〜8d)とを各段が有し、エンクロージャからガスを排出するための回路として段(5〜8)を互いに接続するためのパイプ(9〜11)を含む多段ドライメカニカル真空ポンプ(2)を駆動するモータ(1)を含む、エンクロージャ(100)の圧力を低下させるための真空ポンプ装置であって、第1の排気ステップ(E1)中に段が少なくともペアで並列に接続される第1の構成から、中間排気ステップ(E2)中の少なくとも1つの中間構成を経て、最後の排気ステップ(E3)において段が直列に接続される最後の構成に、段が移行するように、段(5〜8)を互いに接続し、排気速度は、それぞれの現在の圧力範囲において最適化され、少なくとも1つの段(5)が、少なくとも1つの他の段(6)と並列に接続される一方で、少なくとも1つの段(7)が、少なくとも1つの他の段(8)と直列に接続される流体フロー接続手段(12〜19)を含むことを特徴とする装置。

IPC (2件)：

F04B 37/16 , F04B 49/06

FI (3件)：

F04B37/16 E , F04B37/16 D , F04B49/06 341J

Fターム (32件)：

3H029AA01 , 3H029AA06 , 3H029AA17 , 3H029AA18 , 3H029AA24 , 3H029AB06 , 3H029AB08 , 3H029BB42 , 3H029BB58 , 3H029CC53 , 3H029CC58 , 3H029CC62 , 3H029CC63 , 3H045AA05 , 3H045AA09 , 3H045AA17 , 3H045AA26 , 3H045AA38 , 3H045BA33 , 3H045CA02 , 3H045CA09 , 3H045DA05 , 3H045DA12 , 3H045DA15 , 3H045DA31 , 3H076AA16 , 3H076AA21 , 3H076BB21 , 3H076CC07 , 3H076CC44 , 3H076CC92 , 3H076CC93

引用特許：

出願人引用 (9件)

欧州特許公開第0730093号明細書
米国特許公開第2004/247465号明細書
独国特許公開第10308420号明細書

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審査官引用 (5件)

真空装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-315522 出願人：株式会社イーアールシー
振動ピストンポンプ
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-577063 出願人：ライボルトヴァークウムゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
特開平2-067472

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