特許

J-GLOBAL ID：201303023381671303

プラズマ生成ガスおよびこれを用いて生成されたプラズマ

発明者： 沖野 晃俊 ,  宮原 秀一 ,  佐々木 良太
出願人/特許権者： 沖野 晃俊 ,  宮原 秀一
代理人 (6件)： 中尾 俊輔 ,  伊藤 高英 ,  畑中 芳実 ,  大倉 奈緒子 ,  玉利 房枝 ,  鈴木 健之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-153823
公開番号（公開出願番号）：特開2013-019791
出願日： 2011年07月12日
公開日（公表日）： 2013年01月31日
要約：

【課題】本発明は、生成されるプラズマの状態を調整可能なプラズマ生成ガスを提供し、プラズマを生成する際に大量の電力を印加しても安定なグロー放電を得ることを可能とするとともに、このプラズマ生成ガスを用いて、高密度で伸張距離の長いプラズマを提供することを目的とする。【解決手段】放電することによってプラズマを生成するためのプラズマ生成ガスであって、前記プラズマの主成分となる物質を含んでいるプラズマ用ガスと、前記プラズマの状態を調整するプラズマ状態調整用ガスとの混合ガスとする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

放電することによってプラズマを生成するためのプラズマ生成ガスであって、 前記プラズマの主成分となる物質を含んでいるプラズマ用ガスと、 前記プラズマの状態を調整するプラズマ状態調整用ガスとの混合ガスからなることを特徴とするプラズマ生成ガス。

IPC (1件)：

G01N 21/67

FI (1件)：

G01N21/67 C

Fターム (6件)：

2G043AA01 ,  2G043AA06 ,  2G043CA02 ,  2G043DA08 ,  2G043EA09 ,  2G043GA07