特許
J-GLOBAL ID：201303023954168245
チップ間隔維持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
末成 幹生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-111314
公開番号（公開出願番号）：特開2013-239557
出願日： 2012年05月15日
公開日（公表日）： 2013年11月28日
要約：
【課題】被加工物に貼着したエキスパンドシートを拡張して分割したチップ間の間隔を、エキスパンドシートの種類によらず確実に維持する。【解決手段】テーブル31上にエキスパンドシート11を介して載置したウェーハ1を、拡張手段30でエキスパンドシート11を拡張することにより複数のチップ3Aに分割した後、複数のチップ3Aをエキスパンドシート11を介してテーブル31に吸引保持する。続いて、エキスパンドシート11の拡張を解除して、エキスパンドシート11におけるウェーハ1の外周縁1cと環状フレーム10の内周縁10aとの間の環状領域11aの余剰分を隆起させて隆起部11bを形成し、この隆起部11bを圧着手段70で圧着することによりエキスパンドシート11のテンションを維持し、チップ3A間の間隔を維持可能とする構成を有する。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
エキスパンドシートに貼着され環状フレームに装着された被加工物が分割されて形成された複数のチップの間隔を拡張した状態に維持するチップ間隔維持装置であって、
被加工物を支持する支持面を有し、エキスパンドシートを介して被加工物が分割されて形成された複数のチップを吸引保持可能に支持するテーブルと、
該テーブルの外周で環状フレームを固定する固定面を有したフレーム固定手段と、
前記エキスパンドシートを拡張することで複数の前記チップ間に間隔を形成する拡張手段と、
該拡張手段で前記エキスパンドシートが拡張されて前記チップ間に間隔が形成された複数の該チップを該エキスパンドシートを介して前記テーブルで吸引保持するとともに該拡張手段による拡張を解除することで被加工物の外周と前記環状フレームの内周との間で該エキスパンドシートの余剰分が隆起した隆起部を挟持して圧着する圧着手段と、
を備えることを特徴とするチップ間隔維持装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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