特許
J-GLOBAL ID：200903060655167747
エキスパンド方法及びエキスパンド装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-288492
公開番号（公開出願番号）：特開2005-057158
出願日： 2003年08月07日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：
【課題】ダイシング後のウェーハを、搬送中の振動によって隣同士のチップのエッジとエッジとが接触してエッジ部に欠けやマイクロクラック等が発生することなしに、フレームごと搬送することのできる粘着シートのエキスパンド方法、及びエキスパンド装置を提供すること。【解決手段】ダイシング加工後に、粘着シートSをエキスパンドして個々のチップT間の間隔を拡大するエキスパンドは、ダイシング加工後ウェーハWをチャックステージ6に載置した状態のままでチャックステージ6ごとエキスパンドエリアに搬送し、エキスパンドエリアで粘着シートSをエキスパンドし、シート保持手段でチャックステージ6上の粘着シートSのエキスパンド状態を保持し、クランプ部材の外側の部分の粘着シートに弛みSAを形成し、粘着シートSの弛みSA部分の基部SBを摘まんで固定するようにした。【選択図】 図9
請求項（抜粋）：
粘着シートに貼着されて該粘着シートを介してリング状のフレームにマウントされ、個々のチップにダイシング加工された板状物に対し、ダイシング加工後に、前記粘着シートをエキスパンドして前記個々のチップ間の間隔を拡大するエキスパンド方法において、
前記板状物をダイシング加工後、前記板状物をチャックステージから取り外さずにチャックステージごと同一装置内の別エリアに搬送し、
該同一装置内の別エリアにおいて前記粘着シートをエキスパンドし、
エキスパンドされた前記チャックステージ上の粘着シートのエキスパンド状態を保持し、
前記チャックステージの外側の部分の粘着シートに弛みを形成し、
前記粘着シートの弛み部分の基部を摘まんで固定することにより、前記板状物をチャックステージから取り外しても前記粘着シートのエキスパンド状態が保持されることを特徴とするエキスパンド方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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