特許
J-GLOBAL ID：201303024009316889

領域分類装置、そのプログラム、基板検査装置、および領域分類方法

発明者：
八坂 智

八坂 智 について

, 
齋藤 純

齋藤 純 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (2件)： 吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-045239
公開番号（公開出願番号）：特開2013-181807
出願日： 2012年03月01日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
要約：
【課題】多層の基板における回路パターンの検査精度を改善する。【解決手段】領域分類装置は、回路パターンがそれぞれ形成された複数の基板が積層される多層の基板の設計データに基づいて、当該多層の基板のうち着目層の基板における着目領域を抽出する領域抽出部と、着目領域の導電性の有無が設計通りである着目層の回路パターンと、接続孔との電気的な接続関係を表す第1ネットリストと、着目領域の導電性の有無が設計から外れた場合の着目層の回路パターンと、接続孔との電気的な接続関係を表す第2ネットリストとをそれぞれ生成するネットリスト生成部と、第1ネットリストと、第2ネットリストとの間に所定の差異がある場合には着目領域を検査における重要領域に分類し、該所定の差異がない場合には着目領域を重要領域よりも重要度が低い非重要領域に分類する領域分類部とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
回路パターンがそれぞれ形成された複数の基板が積層される多層の基板の設計データに基づいて、当該多層の基板のうち着目層の基板における着目領域を、当該基板に対応する設計画像において抽出する領域抽出部と、 異なる層間の回路パターン同士を電気的に接続する接続孔と前記着目層の回路パターンとの電気的な接続関係を表すデータとして、 前記着目領域の導電性の有無が設計通りである場合の第1ネットリストと、 前記着目領域の導電性の有無が設計から外れている場合の第2ネットリストと、 をそれぞれ生成するネットリスト生成部と、 前記第1ネットリストと、前記第2ネットリストとの間に所定の差異がある場合には前記着目領域を検査における重要領域に分類し、前記所定の差異がない場合には前記着目領域を前記重要領域よりも重要度が低い非重要領域に分類する領域分類部と、 を備える領域分類装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/24 ,  H05K 3/00
FI (3件)：
G01N21/956 B ,  G01B11/24 F ,  H05K3/00 Q
Fターム (23件)：
2F065AA18 ,  2F065AA54 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ36 ,  2F065QQ37 ,  2F065QQ39 ,  2F065UU05 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051ED04 ,  2G051ED05 ,  2G051ED15
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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