特許
J-GLOBAL ID:201303024144266263
アレイ型粒子線照射装置及びその制御方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
高矢 諭
, 松山 圭佑
, 牧野 剛博
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-023602
公開番号(公開出願番号):特開2013-225490
出願日: 2013年02月08日
公開日(公表日): 2013年10月31日
要約:
【課題】透過窓フレームに粒子ビームが衝突することによるビーム損失を低減し、発熱を抑制し高いビーム照射効率を実現する。【解決手段】アレイ状に多数配置されたカソード群10とアノード12よりなる、引出し電極のない2極型構造であって、前記カソード群10と電気的に接続されたウェネルト14を有し、該カソード群10とアノード12とウェネルト14の内少なくとも2つを進退させる位置調整機構16、18を有するアレイ型粒子線照射装置であって、前記カソード群10の各カソードから放出された粒子ビームが収束あるいは直進するように設定すると共に、前記カソード群10の各カソードと同形状の透過窓20を相対配置する。【選択図】図5
請求項(抜粋):
アレイ状に多数配置されたカソード群とアノードよりなる、引出し電極のない2極型構造であって、前記カソード群と電気的に接続されたウェネルトを有し、該カソード群とアノードとウェネルトの内少なくとも2つを進退させる位置調整機構を有するアレイ型粒子線照射装置であって、
前記カソード群の各カソードから放出された粒子ビームが収束あるいは直進するように設定されると共に、
前記カソード群の各カソードと同形状の透過窓が相対配置されていることを特徴とするアレイ型粒子線照射装置。
IPC (3件):
H01J 37/073
, G21K 5/04
, G21K 5/00
FI (4件):
H01J37/073
, G21K5/04 E
, G21K5/00 A
, G21K5/04 A
Fターム (3件):
5C030CC02
, 5C030CC04
, 5C030CC07
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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