特許
J-GLOBAL ID：200903089521863737

電子線発生装置およびその制御方法

発明者：
土居 真

土居 真 について


出願人/特許権者：
JFEエンジニアリング株式会社

JFEエンジニアリング株式会社 について

, 
JFEスチール株式会社

JFEスチール株式会社 について


代理人 (1件)： 田中 政浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-160066
公開番号（公開出願番号）：特開2008-311174
出願日： 2007年06月18日
公開日（公表日）： 2008年12月25日
要約：
【課題】 CNTカソードでの放電やCNT飛散による電子放出特性の劣化が少なく、長寿命で信頼性の高い電子線発生装置を提供する。 【解決手段】 放電や劣化の原因である引出し電極のない2極型構造とし、ウェネルトとカソード、アノード間の相対位置を変えることにより電子ビームの電流値およびビーム径を制御することができる。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
カーボンナノチューブをエミッタとするカソードとアノードよりなる、引出し電極のない2極型構造であって、カソードと電気的に接続されたウェネルトを有し、該カソードとアノードとウェネルトの内少なくとも2つを進退させる機構を有することを特徴とする電子線発生装置
IPC (5件)：
H01J 37/073 ,  H01J 37/067 ,  H01J 37/04 ,  G21K 1/00 ,  G21K 5/04
FI (6件)：
H01J37/073 ,  H01J37/067 ,  H01J37/04 A ,  G21K1/00 E ,  G21K5/04 F ,  G21K5/04 C
Fターム (6件)：
5C030AA01 ,  5C030AA04 ,  5C030AA09 ,  5C030AB06 ,  5C030BB07 ,  5C030CC04
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (9件)
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