特許
J-GLOBAL ID：201303025738659172

偏光露光装置

発明者：
新井 敏成

新井 敏成 について

, 
佐藤 敬行

佐藤 敬行 について


出願人/特許権者：
株式会社ブイ・テクノロジー

株式会社ブイ・テクノロジー について


代理人 (2件)： 特許業務法人 英知国際特許事務所 ,  小橋 立昌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-044698
公開番号（公開出願番号）：特開2013-182085
出願日： 2012年02月29日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
要約：
【課題】偏光軸方向の変更を簡易かつ精度よく行うことができる。【解決手段】偏光露光装置1は、光源20と、光源20に沿って延設される偏光子21とを備え、偏光子21を通して光源20から出射される光を被露光面W1に照射する偏光照射部2と、回転軸R周りに偏光照射部2を回転駆動する回転駆動部3と、被露光面W1の背面側で回転軸R上に配置され、偏光子21における偏光軸21aの方向を設定する偏光軸設定部4と、偏光軸設定部4の設定に応じて回転駆動部3を制御する制御部5とを備える。偏光軸設定部4は、回転調整自在な検光子40と検光子40を通過した光を受光する受光量検出器41とを備えて検光子40の回転方向によって偏光軸の方向を設定し、制御部5は、受光量検出器41の出力が極大になるように回転駆動部3を制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
露光走査方向と交差する方向に延設される光源と、該光源に沿って延設される偏光子とを備え、前記偏光子を通して前記光源から出射される光を被露光面に照射する偏光照射部と、 前記偏光子上を通って前記被露光面に交差する回転軸周りに前記偏光照射部を回転駆動して、前記露光走査方向に対する前記偏光子の偏光軸方向を変更する回転駆動部と、 前記被露光面の背面側で前記回転軸上に配置され、前記偏光子における偏光軸の方向を任意の方向に設定する偏光軸設定部と、 前記偏光軸設定部の設定に応じて前記回転駆動部を制御する制御部とを備え、 前記偏光軸設定部は、前記回転軸周りの任意の方向に回転調整自在な検光子と該検光子を通過した光の受光量を検出する受光量検出器とを備えて前記検光子の回転方向によって前記偏光軸の方向を設定し、 前記制御部は、前記受光量検出器の出力が極大になるように、前記回転駆動部を制御することを特徴とする偏光露光装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F7/20 501 ,  H01L21/30 502C
Fターム (6件)：
2H097BB01 ,  2H097CA19 ,  2H097LA12 ,  2H097LA17 ,  5F146BA10 ,  5F146CB15
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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