特許

J-GLOBAL ID：201303026305723000

基板検査装置

発明者： 石井 徹 ,  土田 憲吾
出願人/特許権者： ヤマハファインテック株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人プロスペック特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-287624
公開番号（公開出願番号）：特開2013-101133
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
要約：

【課題】 製造コストが安く、検査対象基板の電気的な導通状態を判定する判定部と検査プローブとの接続、切断の各作業を単純にすることができる基板検査装置を提供すること。【解決手段】 中継基板21およびワイヤーケーブル19等を介して、判定部7aに接続された検査プローブ17をプリント基板3の電気的接点3aに当接させてプリント基板3の導通の状態を判定部7aで判定する。中継基板21は、ワイヤーケーブル19に対応するプローブ側端子31と、電気接触子45に対応する判定部側端子33とを備える。電気接触子45の先端部と中継基板21の各判定部側端子33とを接離自在に当接させて検査プローブ17と判定部7aとを電気的に接続する。中継基板21を、貫通孔11aを備えた枠状のベースプレート11の上面に固定して、プローブ側端子31を貫通孔11aの内部側に位置させ、判定部側端子33を貫通孔11aの外部側に位置させた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査対象基板の電気的な導通の状態を判定する判定部に接続配線を介して接続された複数の検査プローブのそれぞれの先端部を検査対象基板の複数の電気的接点に当接させて前記検査対象基板の電気的な導通の状態を判定するようにした基板検査装置において、 前記接続配線を、先端部が前記検査プローブに接続されたプローブ側配線と後端部が前記判定部に接続された判定部側配線とで構成し、前記プローブ側配線の後端部を、複数のプローブ側端子と複数の判定部側端子とを電気的に接続した基板回路を備えた中継基板の前記プローブ側端子に接続するとともに、前記判定部側配線の先端部を前記中継基板の判定部側端子に対して接離自在に当接する電気接触子に接続して前記複数の検査プローブと前記判定部とを電気的に接続するようにし、 前記中継基板のプローブ側端子を前記中継基板の基板本体の中央部に配置してプローブ側端子群を構成する一方、前記中継基板の判定部側端子を前記プローブ側端子群を挟んで前記基板本体の両側部にそれぞれ配置して判定部側端子群を構成し、 貫通孔を備えた枠状のベースプレートの上面に、前記貫通孔の内側に前記プローブ側端子群が位置し、前記貫通孔の外側に判定部側端子群が位置するようにして前記中継基板を固定し、前記プローブ側配線を前記貫通孔を通して前記プローブ側端子に接続したことを特徴とする基板検査装置。

IPC (2件)：

G01R 31/02 ,  H05K 3/00

FI (2件)：

G01R31/02 ,  H05K3/00 T

Fターム (4件)：

2G014AA01 ,  2G014AA13 ,  2G014AB59 ,  2G014AC10

引用特許：

出願人引用 (1件)

• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-085661   出願人：東京エレクトロン株式会社

審査官引用 (1件)

• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-085661   出願人：東京エレクトロン株式会社