特許
J-GLOBAL ID:201303026642652041
光カプラースイッチ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
平山 一幸
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-042578
公開番号(公開出願番号):特開2013-178411
出願日: 2012年02月28日
公開日(公表日): 2013年09月09日
要約:
【課題】挿入損失の極めて小さい光カプラースイッチを提供する。【解決手段】光カプラースイッチ1は、二つの入力ポート4及び二つの出力ポート5が接続される光カプラースイッチ部10と、光カプラースイッチ部10に隣接して配置された静電マイクロアクチュエータ20と、静電マイクロアクチュエータ20の電極22と、を含み、光カプラースイッチ部10は、固定の第1の光導波路2と、可動の第2の光導波路3と、第1の光導波路2及び第2の光導波路3の周囲に配設されるシールド領域9と、からなり、第1の光導波路2の中央光導波路2aと第2の光導波路3の中央光導波路3aとの間隙が、静電マイクロアクチュエータ20の可動部24により変位する。挿入損失の極めて小さい光カプラースイッチが実現できる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
二つの入力ポート及び二つの出力ポートが接続される光カプラースイッチ部と、
上記光カプラースイッチ部に隣接して配置された静電マイクロアクチュエータと、
静電マイクロアクチュエータの電極と、を含み、
上記光カプラースイッチ部は、固定の第1の光導波路と、可動の第2の光導波路と、上記第1の光導波路及び上記第2の光導波路の周囲に配設されるシールド領域とからなり、
上記第1の光導波路は、上記第2の光導波路に対向する中央光導波路と、該中央光導波路の一端に接続された第1の曲げ光導波路と、該中央光導波路の他端に接続された第2の曲げ光導波路とを有し、
上記第2の光導波路は、上記第1の光導波路の中央光導波路に対向して間隙を設けて配置された中央光導波路と、該中央光導波路の一端に接続された第3の曲げ光導波路と、該中央光導波路の他端に接続された第4の曲げ光導波路とを有し、
上記第1及び第2の光導波路は、周囲より高い誘電率を有するコアと、該コアの周囲に配設されるクラッドと、該クラッドの周囲に配設されるシールド領域とからなり、
上記シールド領域は、少なくとも上記光カプラースイッチ部に配設され、上記第1の光導波路及び第2の光導波路における上記コアと上記シールド領域との間隔を一定にし、
上記静電マイクロアクチュエータは、固定部と可動部とを有する櫛形アクチュエータからなり、かつ、該可動部は上記第2の光導波路に隣接して配設され、
上記静電マイクロアクチュエータの可動部は支持アームを備え、該支持ア-ムは上記第2の光導波路に接続されており、
上記第1の光導波路の中央光導波路と上記第2の光導波路の中央光導波路との間隙が、上記静電マイクロアクチュエータの可動部により変位する、光カプラースイッチ。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (23件):
2H141MA17
, 2H141MA18
, 2H141MA28
, 2H141MB34
, 2H141MB52
, 2H141MC07
, 2H141MD05
, 2H141MD39
, 2H141MF14
, 2H141MG01
, 2H141MZ20
, 2H141MZ25
, 2H141MZ26
, 2H141MZ28
, 2H147AB32
, 2H147AC15
, 2H147BD01
, 2H147BE15
, 2H147EA13A
, 2H147EA14A
, 2H147EA14B
, 2H147EA16B
, 2H147EA25B
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