特許
J-GLOBAL ID:201303027041978159

微小変位量計測方法及び微小変位量計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人 サトー国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-060329
公開番号(公開出願番号):特開2013-195134
出願日: 2012年03月16日
公開日(公表日): 2013年09月30日
要約:
【課題】撮像装置の撮影画像上に移動しない点が発生した場合でも、変位量の計測を高精度に行う微小変位量計測方法を提供する。【解決手段】撮像装置により基準画像及び照合画像を撮影する撮影工程を実行する(S1、S2)。次に、基準画像及び照合画像の撮影画像信号を、画素が一列に並ぶライン単位に夫々分割し、それら基準画像及び照合画像の同一ラインに関して、位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量を演算するライン変位量演算工程を実行する(S3、S6)。次いで、各ライン毎のライン変位量を、大小の順位で配列した際の中間的な順位に位置される複数個のライン変位量を抽出する抽出工程を実行する。この後、抽出された複数個のライン変位量の平均値を算出し(S5、S8)、その結果を当該ラインの延びる方向に関する対象の変位量算出結果とする平均変位量算出工程を実行する(S9)。【選択図】図3
請求項(抜粋):
撮像装置(2)により、変位量を計測すべき対象(H)の移動前の基準画像及び移動後の照合画像を撮影し、それら2つの画像信号から、位相限定相関法を用いて前記対象(H)の微小変位量を計測するための方法であって、 前記基準画像及び照合画像の撮影画像信号を、画素が一列に並ぶライン単位に夫々分割し、それら基準画像及び照合画像の同一ラインに関して、位相限定相関法を用いて各ライン毎の変位量を演算するライン変位量演算工程と、 前記各ライン毎のライン変位量を、大小の順位で配列した際の中間的な順位に位置される複数個のライン変位量を抽出する抽出工程と、 前記抽出された複数個のライン変位量の平均値を算出し、その結果を当該ラインの延びる方向に関する前記対象(H)の変位量算出結果とする平均変位量算出工程とを含むことを特徴とする微小変位量計測方法。
IPC (2件):
G01B 11/00 ,  G06T 7/00
FI (2件):
G01B11/00 A ,  G06T7/00 300H
Fターム (23件):
2F065AA01 ,  2F065CC25 ,  2F065DD04 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR08 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096CA04 ,  5L096FA14 ,  5L096FA23 ,  5L096FA32 ,  5L096FA69 ,  5L096HA04
引用特許:
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (2件)

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