特許
J-GLOBAL ID：201303027697889691

液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法

発明者：
板山 泰裕

板山 泰裕 について

, 
野口 元久

野口 元久 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-072572
公開番号（公開出願番号）：特開2013-207001
出願日： 2012年03月27日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：
【課題】振動板の下地層や電極との密着性に優れた酸化ジルコニウム層を有する液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。【解決手段】酸化ジルコニウム層55の上方に、圧電体層70及び圧電体層70に設けられた電極60,80を有する圧電素子300を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、酸化ジルコニウム層55を形成する際に、前駆体溶液を塗布する工程と、塗布膜を結晶化させる工程と、を含む。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
酸化ジルコニウム層の上方に、圧電体層及び該圧電体層に設けられた電極を有する圧電素子を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、 前記酸化ジルコニウム層を形成する際に、前駆体溶液を塗布する工程と、塗布膜を結晶化させる工程と、を含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
IPC (9件)：
H01L 41/22 ,  B41J 2/16 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/045 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/39 ,  H01L 21/316 ,  C01G 25/02
FI (10件)：
H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103H ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 J ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L21/316 Z ,  C01G25/02
Fターム (17件)：
2C057AF69 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AP14 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  4G048AA02 ,  4G048AA03 ,  4G048AB02 ,  4G048AC01 ,  4G048AC02 ,  4G048AD02 ,  4G048AE08 ,  5F058BC03 ,  5F058BF46 ,  5F058BH01
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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