特許
J-GLOBAL ID：201103088371947823

液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子

発明者：
▲濱▼田 泰彰

▲濱▼田 泰彰 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-015923
公開番号（公開出願番号）：特開2011-205066
出願日： 2011年01月28日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：
【課題】環境に優しく且つ比誘電率が高い液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。【解決手段】圧電体層70と、圧電体層70に設けられた電極60,80とを具備する圧電素子300を備えた液体噴射ヘッドIであって、圧電体層70は、膜厚が3μm以下であり、鉄酸マンガン酸ビスマス及びチタン酸バリウムを含むペロブスカイト型化合物を含有する圧電材料からなり、(110)面に優先配向し、且つ、この(110)面に由来するX線の回折ピークの半値幅が0.24°以上0.28°以下である。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
圧電体層と、前記圧電体層に設けられた電極とを具備する圧電素子を備えた液体噴射ヘッドであって、 前記圧電体層は、膜厚が3μm以下であり、 鉄酸マンガン酸ビスマス及びチタン酸バリウムを含むペロブスカイト型化合物を含有する圧電材料からなり、 (110)面に優先配向し、且つ、この(110)面に由来するX線の回折ピークの半値幅が0.24°以上0.28°以下であることを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (10件)：
H01L 41/18 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/08 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  H01L 41/187
FI (10件)：
H01L41/18 101Z ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/08 Z ,  H01L27/10 444C ,  H01L41/18 101J
Fターム (20件)：
2C057AF51 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  5F083GA11 ,  5F083GA30 ,  5F083JA13 ,  5F083JA17 ,  5F083JA36 ,  5F083JA38 ,  5F083JA40 ,  5F083JA43 ,  5F083PR23 ,  5F083PR33 ,  5F083PR34
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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