特許
J-GLOBAL ID：201303027911939510

パターンマッチング装置、検査システム、及びコンピュータプログラム

発明者：
豊田 康隆

豊田 康隆 について

, 
松岡 良一

松岡 良一 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-000023
公開番号（公開出願番号）：特開2013-140468
出願日： 2012年01月04日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
要約：
【課題】本発明は、マッチングの程度を判定する領域を確保しつつ、欠陥等の影響を排除したマッチングを行うパターンマッチング装置、パターンマッチングをコンピュータに実行させるコンピュータプログラム、及び検査システムの提供を目的とする。【解決手段】上記目的を達成するために、サーチ画像内を、テンプレート用画像を用いたサーチを行うことによって、マッチング位置を特定するパターンマッチング装置、コンピュータプログラム、及び検査システムにおいて、複数の評価領域を有するテンプレートを用いて、前記サーチを実行するパターンマッチング装置、コンピュータプログラム、及び検査システムを提案する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
サーチ画像内を、テンプレート用画像を用いたサーチを行うことによって、マッチング位置を特定する演算装置を備えたパターンマッチング装置において、 当該演算装置は、複数の評価領域を有するテンプレートを用いて、前記サーチを実行することを特徴とするパターンマッチング装置。
IPC (2件)：
G06T 1/00 ,  G06T 7/00
FI (2件)：
G06T1/00 305C ,  G06T7/00 300D
Fターム (19件)：
5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DA08 ,  5B057DC08 ,  5B057DC09 ,  5B057DC16 ,  5B057DC33 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096DA01 ,  5L096EA17 ,  5L096FA06 ,  5L096FA69 ,  5L096HA08 ,  5L096JA09
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM