特許
J-GLOBAL ID：200903095859503744

パターン検査装置、パターン検査方法および記録媒体

発明者：
山本 昌宏

山本 昌宏 について


出願人/特許権者：
株式会社ナノジオメトリ研究所

株式会社ナノジオメトリ研究所 について


代理人 (1件)： 谷 義一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-258234
公開番号（公開出願番号）：特開2001-338304
出願日： 2000年08月28日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：
【要約】【課題】 検査対象パターン画像と基準パターンとの比較検査を実時間で行うこと等である。【解決手段】 検査対象パターンの画像から第1のエッジを検出する。第1のエッジと第1の基準パターンのエッジとを比較することにより、検査対象パターン画像と基準パターンとのマッチングを行う。求まったシフト量S1を用いて第1の基準パターンをシフトする。第1のエッジとシフトした第1の基準パターンのエッジとを比較することにより、検査対象パターンを検査する。パターン変形量の1つとしてシフト量S2が求まる。第2の基準パターンをシフト量S1+S2分シフトする。シフトした第2の基準パターンを用いて、検査対象パターン画像上でプロファイルを求め、第2のエッジを検出する。第2のエッジとシフトした第2の基準パターンのエッジとを比較することにより、検査対象パターンを検査する。パターン変形量の1つとしてシフト量S3が求まる。
請求項（抜粋）：
検査対象パターンを基準パターンと比較して検査するパターン検査装置であって、前記基準パターンを記憶する記憶手段と、前記検査対象パターンの画像を入力する入力手段と、前記入力された検査対象パターンの画像のエッジと前記記憶された基準パターンのエッジとを比較することにより、前記検査対象パターンを検査する検査手段と、前記検査の結果を出力する出力手段とを備えたことを特徴とするパターン検査装置。
IPC (6件)：
G06T 7/60 300 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/956 ,  G03F 1/08 ,  G06T 1/00 305 ,  H01L 21/66
FI (7件)：
G06T 7/60 300 A ,  G01N 21/956 A ,  G03F 1/08 S ,  G06T 1/00 305 A ,  H01L 21/66 J ,  G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 F
Fターム (53件)：
2F065AA12 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC17 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38 ,  2F065RR08 ,  2F065SS06 ,  2F065SS13 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EC01 ,  2G051ED15 ,  2H095BD01 ,  2H095BD28 ,  4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA03 ,  4M106BA04 ,  4M106CA39 ,  4M106DB05 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE04 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DC16 ,  5B057DC33 ,  5L096BA03 ,  5L096EA02 ,  5L096FA06 ,  5L096HA07 ,  5L096JA11
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (6件)
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