特許
J-GLOBAL ID：201303028084472425
レーザ光によるワーク加工装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-143754
公開番号（公開出願番号）：特開2013-010113
出願日： 2011年06月29日
公開日（公表日）： 2013年01月17日
要約：
【課題】円、円弧、S字等の曲線を含む加工ラインに沿ってレーザ光を走査する際に、走査速度の低下を抑えて、加工効率を向上させる。【解決手段】 このワーク加工装置は、ガラス基板等のワークにレーザ光を照射して加工を行う装置であって、加工すべきワークが載置されるワークテーブル2と、テーブル移動機構5と、レーザ光を出力するレーザ光出力部15と、偏向・回転機構18と、走査制御手段と、を備えている。テーブル移動機構5は、ワークテーブル2を、載置面と平行な面内において互いに直交するx,y方向に移動する。偏向・回転機構18は、レーザ光出力部15から出射されたレーザ光を出射軸から偏向させるとともに、偏向されたレーザ光を出射軸の回りに回転させる。走査制御手段は、テーブル移動機構5及び偏向・回転機構18の駆動を協調制御して、レーザ光をワーク上で走査する。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
ワークにレーザ光を照射して加工を行う加工装置であって、
加工すべきワークが載置されるワークテーブルと、
前記ワークテーブルを、載置面と平行な面内において互いに直交するx,y方向に移動するためのテーブル駆動手段と、
レーザ光を出力するレーザ光出力部と、
前記レーザ光出力部から出射されたレーザ光を出射軸から偏向させるとともに、偏向されたレーザ光を出射軸の回りに回転させる偏向・回転手段と、
前記テーブル駆動手段及び前記偏向・回転手段の駆動を協調制御して、レーザ光をワーク上で走査する走査制御手段と、
を備えたレーザ光によるワーク加工装置。
IPC (2件)：
FI (4件)：
B23K26/08 F
, B23K26/06 Z
, B23K26/06 G
, B23K26/08 B
4E068CD08
, 4E068CD09
, 4E068CE02
, 4E068CE04
, 4E068DB13
