特許
J-GLOBAL ID：201103061877076370

レーザ光によるガラス基板加工装置

発明者：
清水 政二

清水 政二 について

, 
熊谷 一星

熊谷 一星 について


出願人/特許権者：
三星ダイヤモンド工業株式会社

三星ダイヤモンド工業株式会社 について


代理人 (1件)： 新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-154578
公開番号（公開出願番号）：特開2011-011212
出願日： 2009年06月30日
公開日（公表日）： 2011年01月20日
要約：
【課題】安価な構成で実現可能なレーザ光によるガラス基板加工装置を提供する。【解決手段】この装置は、ガラス基板が載置されるワークテーブル2と、レーザ光出力部15と、入力されたレーザ光を複数の点に集光させるための回折光学素子32及び集光レンズ35と、第1中空モータ17と、1対のウェッジプリズム34a,34bと、第2中空モータ19と、を備えている。第1中空モータ17は、複数の集光点を、集光レンズ35から出射される複数のレーザ光の中心軸の回りに回転させる。1対のウェッジプリズム34,34bは、複数の集光点の回転軸を、集光レンズ35から出力される複数のレーザ光の中心軸から偏倚させる。第2中空モータ19は、中心軸から偏倚された複数の集光点を、ワークテーブル2のガラス基板の表面に沿った平面内で、中心軸の回りに回転走査する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ガラス基板にレーザ光を照射して加工を行う加工装置であって、 加工すべきガラス基板が載置されるワークテーブルと、 レーザ光を出力するレーザ光出力部と、 入力されたレーザ光を複数の点に集光させるための多点集光部と、 前記複数の集光点を、前記多点集光部から出射される複数のレーザ光の中心軸の回りに回転させる回転機構と、 前記レーザ光出力部からのレーザ光を前記多点集光部に導く光学系と、 前記複数の集光点の回転軸を、前記多点集光部から出力される複数のレーザ光の中心軸から偏倚させる偏倚機構と、 前記中心軸から偏倚された前記複数の集光点を、前記ワークテーブルに載置されたガラス基板の表面に沿った平面内で、前記中心軸の回りに回転走査するレーザ光走査部と、 を備えたレーザ光によるガラス基板加工装置。
IPC (9件)：
B23K 26/38 ,  B23K 26/067 ,  B23K 26/06 ,  B23K 26/08 ,  B23K 26/00 ,  C03B 33/04 ,  C03C 23/00 ,  G02B 26/10 ,  G02B 26/08
FI (10件)：
B23K26/38 330 ,  B23K26/067 ,  B23K26/06 G ,  B23K26/06 A ,  B23K26/08 B ,  B23K26/00 G ,  C03B33/04 ,  C03C23/00 D ,  G02B26/10 108 ,  G02B26/08 D
Fターム (25件)：
2H045AF12 ,  2H045AF14 ,  2H141MA12 ,  2H141MB17 ,  2H141MB39 ,  2H141MC01 ,  2H141MD12 ,  2H141MD20 ,  2H141MD22 ,  2H141MD35 ,  2H141ME09 ,  2H141MF21 ,  2H141MG05 ,  4E068AF02 ,  4E068CD01 ,  4E068CD04 ,  4E068CD09 ,  4E068CE02 ,  4E068DB13 ,  4G015FA09 ,  4G015FB02 ,  4G015FC02 ,  4G059AA08 ,  4G059AB05 ,  4G059AC30
引用特許：
出願人引用 (11件)
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