特許
J-GLOBAL ID：201303028767375220
液体吐出ヘッド用基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 緒方 雅昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-228817
公開番号（公開出願番号）：特開2013-212681
出願日： 2012年10月16日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：
【課題】本発明は、製造工程にかかる負荷を抑えながら、レーザー光を効率的に基板内部に集光させて、精度高く切り出された液体吐出ヘッドを歩留まり良く得ることが可能な液体吐出ヘッド用基板の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、(1)エネルギー発生素子を第一の面側に有する基板を前記第一の面と反対側の面である第二の面側からエッチングすることにより、液体供給口の少なくとも一部と、前記基板の切断部に沿った凹部と、を一括に形成する工程と、(2)前記凹部のエッチング面から前記第一の面側に向けてレーザー光を照射することにより、前記基板の内部に変質部を形成する工程と、(3)前記変質部で前記基板を切断する工程と、を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
液体を吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子と、前記液体を前記エネルギー発生素子に供給するための液体供給口と、を有する液体吐出ヘッド用基板の製造方法であって、
(1)前記エネルギー発生素子を第一の面側に有する基板を前記第一の面と反対側の面である第二の面側からエッチングすることにより、前記液体供給口の少なくとも一部と、前記基板の切断部に沿った凹部と、を一括に形成する工程と、
(2)前記凹部のエッチング面から前記第一の面側に向けてレーザー光を照射することにより、前記基板の内部に変質部を形成する工程と、
(3)前記変質部で前記基板を切断する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2C057AF93
, 2C057AG14
, 2C057AG46
, 2C057AP02
, 2C057AP23
, 2C057AP32
, 2C057AP33
, 2C057AP47
