直動浮上装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大関光弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-049845
公開番号（公開出願番号）：特開2013-185623
出願日： 2012年03月06日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：

【課題】より高精度な直線案内を実現可能な直動浮上装置を提供する。【解決手段】エアスライド装置1は、角柱形のスライド軸2と、スライド軸2の各支持対象21と対向する平面状の静圧気体軸受面31A〜31Dを有する枠形状のスライダ3を有している。スライダ3は、各静圧気体軸受面31A〜31Dを形成する多孔質層32A〜32Dの裏側に、スライド軸2の各支持対象面21の縁に沿ったパターンの給気溝を含む給気路33A〜33Dを有している。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

軸心方向に沿った複数の側面を有する角柱形のスライド軸と、前記スライド軸の軸心周りに前記スライド軸を囲み、前記スライド軸の前記各側面に対向する内壁面を有し、前記スライド軸に対して、前記軸心方向に沿って相対的に移動するスライダと、を備え、前記スライド軸の側面および前記スライダの内壁面のうち、いずれか一方の面は、当該面に対向する他方の面を支持対象面として非接触で支持する静圧気体軸受面を含み、前記スライド軸および前記スライダのうち、前記静圧気体軸受面を有する一方の部品は、前記各支持対象面側に向けられ、前記静圧気体軸受面から当該各支持対象面に向けて噴出させる圧縮気体が供給される給気溝が、当該静圧気体軸受面の縁に沿ったパターンで形成された溝形成面を有するベース材と、前記ベース材の前記溝形成面に積層され、前記静圧気体軸受面を形成する多孔質層と、を有することを特徴とする直動浮上装置。

IPC (1件)：

F16C 32/06

FI (2件)：

F16C32/06 A , F16C32/06 B

Fターム (6件)：

3J102AA02 , 3J102BA04 , 3J102CA09 , 3J102EA02 , 3J102EA06 , 3J102EA18

引用特許：

出願人引用 (5件)

真空対応型静圧流体軸受
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-092523 出願人：京セラ株式会社, 株式会社アドバンテスト
静圧軸受装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-128073 出願人：太平洋セメント株式会社
静圧気体軸受装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-109854 出願人：京セラ株式会社

全件表示

審査官引用 (5件)

真空対応型静圧流体軸受
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-092523 出願人：京セラ株式会社, 株式会社アドバンテスト
静圧軸受装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-128073 出願人：太平洋セメント株式会社
静圧気体軸受装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-109854 出願人：京セラ株式会社

全件表示

前のページに戻る