特許
J-GLOBAL ID：201303029643060910
多元系ナノワイヤーの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-122472
公開番号（公開出願番号）：特開2013-177696
出願日： 2013年06月11日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：
【課題】製造過程が容易であり、製造コストが低廉な多元系ナノワイヤーの製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る多元系ナノワイヤーの製造方法は、(a)複数の気孔を有する陽極酸化アルミニウムナノテンプレートを準備するステップと、(b)前記陽極酸化アルミニウムナノテンプレートの一側面上に電極層を形成するステップと、(c)前記陽極酸化アルミニウムナノテンプレートを所定のGe-Sb-Te系溶液に浸漬させ、前記電極層を陰極とする電気めっき法によって、前記陽極酸化アルミニウムナノテンプレートの前記気孔を通じてGe-Sb-Te系ナノワイヤーを成長させるステップと、(d)前記陽極酸化アルミニウムナノテンプレートを除去するステップとを含むことを特徴とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
多元系ナノワイヤーの製造方法であって、
(a)複数の気孔を有する陽極酸化アルミニウムナノテンプレートを準備するステップと、
(b)前記陽極酸化アルミニウムナノテンプレートの一側面上に電極層を形成するステップと、
(c)前記陽極酸化アルミニウムナノテンプレートを所定の多元系溶液に浸漬させ、前記陽極酸化アルミニウムナノテンプレートを陰極とする電気めっき法によって、前記陽極酸化アルミニウムナノテンプレートの前記気孔を通じて多元系ナノワイヤーを成長させるステップと、
(d)前記陽極酸化アルミニウムナノテンプレートを除去するステップとを含むことを特徴とする製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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