特許
J-GLOBAL ID：201303029726687397
透明平板基板の表裏異物の検出方法及びその方法を用いた異物検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 正男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-000007
公開番号（公開出願番号）：特開2013-140061
出願日： 2012年01月02日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
要約：
【課題】透明平板基板の表裏に存在する異物が、表裏のいずれに存在するかをより確実に判別することができる異物検査方法及び異物検査装置を提供する。【解決手段】 透明平板基板に存在する異物を検出する異物検査装置において、透明平板基板の表面に設けられ、透明平板基板の基板法線に対して所定の入射角で検出光を表面に照射する投光系と、表面側に設けられ、検出光の照射点を基準として、投光系と反対側の位置に設けられた受光系とを備え、受光系は、投光系から照射される検出光が、表面上の異物に照射された際に生じる第1の散乱光と、検出光が透明平板基板を透過し、裏面に存在する異物に照射された際に生じる第2の散乱光とを集光する集光レンズと、集光レンズからの第1の散乱光と第2の散乱光とを、それぞれ2経路に分光する光学素子と、第1の散乱光を受光する第1の散乱光受光センサ-と、第2の散乱光を受光する第2の散乱光受光センサ-とを備える。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
透明平板基板に投光系により検出光を照射し、前記透明平板基板に存在する異物による散乱光を受光系により受光して前記透明平板基板に存在する異物を検出する異物検査装置において、
前記透明平板基板の一方の面(以下、表面)に設けられ、前記透明平板基板の基板法線に対して所定の入射角で前記検出光を前記表面に照射する投光系と、
前記表面側に設けられ、前記検出光の照射点を基準として、前記投光系と反対側の位置に設けられた前記受光系とを備え、
前記受光系は、前記投光系から照射される前記検出光が、前記表面上の異物に照射された際に生じる第1の散乱光と、前記検出光が前記透明平板基板を透過し、他の一方の面(以下、裏面)に存在する異物に照射された際に生じる第2の散乱光とを集光する集光レンズと、
前記集光レンズからの前記第1の散乱光と前記第2の散乱光とを、それぞれ2経路に分光する光学素子と、
前記第1の散乱光を受光する第1の散乱光受光センサ-と、
前記第2の散乱光を受光する第2の散乱光受光センサ-とを備えたことを特徴とする透明平板基板の異物検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
2G051AA41
, 2G051AA84
, 2G051AB01
, 2G051BA10
, 2G051BB09
, 2G051BC05
, 2G051CA01
, 2G051CA07
, 2G051CB05
, 2G051CC07
, 2G051CC09
, 2G051CC11
, 2G051CD06
