特許
J-GLOBAL ID：201303029732221596
密接に結合したシンチレータ-光電子増倍管の組合せを含む電子検出器、それを用いた電子顕微鏡及びX線検出器
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
丸山 敏之
, 久徳 高寛
, 長塚 俊也
, 宮野 孝雄
, 西岡 伸泰
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-522009
公開番号（公開出願番号）：特表2013-541799
出願日： 2011年07月29日
公開日（公表日）： 2013年11月14日
要約：
【解決手段】 荷電粒子線装置は、電子ビームを発生するように構成された電子源と、電子検出器とを備えている。電子源は電子カラムに結合されており、電子カラムは、電子カラムに結合されたサンプルチャンバ内に配置された試料へ電子ビームを導くように構成されたシステムを少なくとも部分的に格納する。電子検出器は、電子カラム又はサンプルチャンバ内に配置される1又は複数のアセンブリを含んでいる、各アセンブリは、SiPMと、シンチレータとSiPMの間に配置される光伝送装置を用いることなく、SiPMのアクティブな光検知面に向くように直接結合されたシンチレータレートとを含んでいる。【参考図】 図1
請求項（抜粋）：
電気カラムに結合されており、電子ビームを発生するように構成された電子源であって、前記電子カラムは、前記電子カラムが結合されたサンプルチャンバ内に配置された試料に前記電子ビームを導くように構成されたシステムを少なくとも部分的に格納している電子源と、
前記電子カラム又は前記サンプルチャンバ内に配置された1又は複数のアセンブリを含む電子検出器とを備えており、
各アセンブリは、SiPMとシンチレータを含んでおり、前記シンチレータは、前記シンチレータと前記SiPMの間に配置される光伝送装置を用いることなく、前記SiPMのアクティブな光検出面と面同士で直接結合されており、前記1又は複数のアセンブリの各々において、前記シンチレータは、前記試料への前記電子ビームの衝突に反応して前記試料から放出された電子が衝突すると、光子を放出するように構成されており、前記SiPMは、前記シンチレータからの前記光子を受け取ると信号を生成するように構成されている、荷電粒子線装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
5C033NN01
, 5C033NN02
, 5C033NN04
, 5C033NP06
, 5C033NP08
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
