特許
J-GLOBAL ID：201303030108172813
弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶、その製造方法及び弾性表面波素子用複合圧電基板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
好宮 幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-107915
公開番号（公開出願番号）：特開2013-236277
出願日： 2012年05月09日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：
【課題】弾性表面波素子用として使用可能でかつ安価な電気機械結合係数と熱伝導率が改善されたLiTaO3単結晶を提供することを目的とする。【解決手段】弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶であって、前記化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶は、引き上げ法により得られた、Fe,Ni,Coの少なくとも1つ以上の元素を0以上0.5mol%以下含み、厚さが7mm以上である一致溶融組成タンタル酸リチウム単結晶が、気相平衡法により化学量論組成に改質されたものであることを特徴とする弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶であって、
前記化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶は、引き上げ法により得られた、Fe,Ni,Coの少なくとも1つ以上の元素を0以上0.5mol%以下含み、厚さが7mm以上である一致溶融組成タンタル酸リチウム単結晶が、気相平衡法により化学量論組成に改質されたものであることを特徴とする弾性表面波素子用化学量論組成タンタル酸リチウム単結晶。
IPC (5件)：
H03H 9/25
, H03H 3/08
, H01L 41/09
, H01L 41/18
, H01L 41/39
H03H9/25 C
, H03H9/25 A
, H03H3/08
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101A
, H01L41/22 A
5J097AA06
, 5J097AA32
, 5J097FF01
, 5J097GG03
, 5J097GG05
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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