特許
J-GLOBAL ID：201303030286618698
基板の貼り合せ装置及び基板の貼り合せ方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人信友国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-030206
公開番号（公開出願番号）：特開2013-167712
出願日： 2012年02月15日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：
【課題】製造時間の短縮化を図り、且つ、基板の貼り合せを高精度に行うことができる基板の貼り合せ装置及び基板の貼り合せ方法を提供する。【解決手段】貼り合せ装置1では、撮像部27A,27Bにより真空容器20内の表示基板101とタッチセンサ付き基板121の相対的な位置を検出する。そして、撮像部27A,27Bの検出結果に基づいて、基板保持部25と基板支持台35A,35Bとを相対的に移動させ、両基板101,121を位置決めして貼り合わせる。次に、貼り合わされた両基板101,121の相対的な位置を撮像部27A,27Bにより検出し、その検出結果に基づいて、両基板101,121の相対的な位置を調整する。その後、仮固定用光源28により両基板101,102間に介在された紫外線硬化樹脂の複数個所に対して紫外線を照射する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
表示基板とカバー基板を、紫外線硬化樹脂を介して真空下で貼り合わせる基板の貼り合せ装置において、
真空容器と、
前記真空容器内に配置され、前記カバー基板又は前記表示基板を保持する基板保持部と、
前記真空容器内に配置され、前記紫外線硬化樹脂が塗布された前記表示基板又は前記カバー基板を支持する基板支持台と、
前記真空容器内に少なくとも一部が配置され、前記基板支持台及び前記基板保持部に保持された前記表示基板と前記カバー基板の相対的な位置を検出する撮像部と、
前記撮像部の検出結果に基づいて、前記基板保持部と前記基板支持台とを相対的に移動させ、前記表示基板と前記カバー基板とを相対的に位置決めさせる制御と、前記真空容器内を脱気する制御と、前記基板保持部と前記基板支持台とを相対的に移動させて前記表示基板と前記カバー基板を貼り合わせる制御と、貼り合わされた後の前記表示基板と前記カバー基板の相対的な位置の検出結果に基づいて、前記表示基板と前記カバー基板との相対的な位置を調整する制御とを行う駆動制御部と、
前記真空容器内に配置され、貼り合わされてから相対的な位置を調整された前記表示基板と前記カバー基板との間に介在している未硬化の紫外線硬化樹脂の複数箇所に対して紫外線を照射する仮固定用光源と、
を備える基板の貼り合せ装置。
IPC (4件)：
G09F 9/00
, H05B 33/10
, H01L 51/50
, G02F 1/133
G09F9/00 342Z
, H05B33/10
, H05B33/14 A
, G02F1/1333
2H189AA16
, 2H189FA62
, 2H189FA92
, 2H189LA02
, 2H189LA07
, 2H189LA30
, 3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC41
, 3K107CC45
, 3K107EE61
, 3K107GG28
, 3K107GG31
, 3K107GG54
, 5G435AA17
, 5G435BB05
, 5G435BB12
, 5G435HH05
, 5G435HH20
, 5G435KK05
, 5G435KK10
