特許
J-GLOBAL ID：201303032138310652

電子顕微鏡装置

発明者：
磯崎 久

磯崎 久 について


出願人/特許権者：
株式会社堀場製作所

株式会社堀場製作所 について


代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-101044
公開番号（公開出願番号）：特開2013-191576
出願日： 2013年05月13日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：
【課題】走査電子像と光学像との同時観察が可能であり、更に走査電子像観察と走査電子像観察以外の観察、作業とを同時に行える様にし、而も構造も簡単な電子顕微鏡装置を提供する。【解決手段】電子ビームを走査する走査手段10と、電子ビームが走査された試料8から発せられる電子11を検出する電子検出器12を有し、該電子検出器からの検出結果に基づき走査電子像を得る走査型電子顕微鏡2と、前記試料表面に検査光を照射し、異物からの散乱光を検出して異物検出を行う異物検出装置とを具備し、前記電子検出器は電子/光変換する蛍光体層と、該蛍光体層からの蛍光の波長帯域の全て或は略全てが透過する様に制限した波長フィルタと、該波長フィルタを透過した前記蛍光を受光し、光/電気変換する波長検出素子を有し、前記検査光は前記波長フィルタの透過波長帯域から外れた波長を有する様に設定された。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子ビームを走査する走査手段と、電子ビームが走査された試料から発せられる電子を検出する電子検出器を有し、該電子検出器からの検出結果に基づき走査電子像を得る走査型電子顕微鏡と、前記試料表面に検査光を照射し、異物からの散乱光を検出して異物検出を行う異物検出装置とを具備し、前記電子検出器は電子/光変換する蛍光体層と、該蛍光体層からの蛍光の波長帯域の全て或は略全てが透過する様に制限した波長フィルタと、該波長フィルタを透過した前記蛍光を受光し、光/電気変換する波長検出素子を有し、前記検査光は前記波長フィルタの透過波長帯域から外れた波長を有する様に設定されたことを特徴とする電子顕微鏡装置。
IPC (3件)：
H01J 37/28 ,  H01J 37/22 ,  H01J 37/244
FI (3件)：
H01J37/28 B ,  H01J37/22 502L ,  H01J37/244
Fターム (6件)：
5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NP02 ,  5C033NP08 ,  5C033UU04 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (7件)
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