特許
J-GLOBAL ID：201303032209083539

回折光学素子及びそれを備えた露光装置

発明者：
堀口 竜二

堀口 竜二 について

, 
登山 伸人

登山 伸人 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (8件)： 小山 卓志 ,  田中 貞嗣 ,  阿部 龍吉 ,  蛭川 昌信 ,  内田 亘彦 ,  青木 健二 ,  韮澤 弘 ,  米澤 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-120430
公開番号（公開出願番号）：特開2013-179357
出願日： 2013年06月07日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：
【課題】 安定した高解像の光学像が得られる回折格子を提供するものである。【解決手段】 回折光学素子は、光源より発した光を、照明光学系を介してマスクに照射し、前記マスク上のパターンを、投影光学系を介して被露光基板上へ投影露光する露光装置の照明光学系で用いられる回折光学素子において、回折光学素子により回折された照明パターンの強度分布は、中心部に強度分布の強度が低い低回折効率領域が存在し、低回折効率部領域の外周に、同心に円環状の高回折効率領域が配置されることを特徴とする。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
光源より発した光を、照明光学系を介してマスクに照射し、 前記マスク上のパターンを、投影光学系を介して被露光基板上へ投影露光する露光装置の前記照明光学系で用いられる回折光学素子において、 前記回折光学素子により回折された照明パターンの強度分布は、 中心部に強度分布の強度が低い低回折効率領域が存在し、 前記低回折効率部領域の外周に、同心に円環状の高回折効率領域が配置される ことを特徴とする回折光学素子。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G02B 5/18
FI (3件)：
H01L21/30 515D ,  G03F7/20 501 ,  G02B5/18
Fターム (11件)：
2H097BB03 ,  2H097LA10 ,  2H249AA03 ,  2H249AA13 ,  2H249AA55 ,  2H249CA01 ,  2H249CA05 ,  2H249CA09 ,  5F146CB43 ,  5F146CB47 ,  5F146DA01
引用特許：
審査官引用 (1件)

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