特許
J-GLOBAL ID：201303032553893000

顕微鏡照明系および方法

発明者：
クリスティアン シュルツ

クリスティアン シュルツ について


出願人/特許権者：
ライカ マイクロシステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー

ライカ マイクロシステムス ツェーエムエス ゲーエムベーハー について


代理人 (2件)： 藤田 アキラ ,  今井 秀樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-258425
公開番号（公開出願番号）：特開2013-114265
出願日： 2012年11月27日
公開日（公表日）： 2013年06月10日
要約：
【課題】顕微鏡照明系およびその方法を提供する。【解決手段】第1の共焦点および第2の非共焦点顕微鏡照明モード間を切り替える顕微鏡照明系であって、第1の顕微鏡照明モードは、照明光源装置10と、光学軸9に垂直な平面において照明ビーム16を偏向させるための走査ミラー装置2と、顕微鏡対物レンズ7の後焦点面6に走査ミラー装置2を結像するための、かつ照明ビーム16を拡張するための走査アイピース3および下流の走査チューブレンズ5であって、顕微鏡対物レンズ7が、検査対象の試料8上に照明ビームを集束する走査アイピース3および下流の走査チューブレンズ5と、を含む顕微鏡照明ユニット100を有する。特に位置決め顕微鏡法用に第2の顕微鏡照明モードを提供するため、顕微鏡照明ユニット100は、照明ビームが顕微鏡対物レンズ7の後焦点面6に集束されるような方法で、照明ビーム16の経路に挿入できる集束レンズ4を有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第1および第2の顕微鏡照明モード間で切り替えるための顕微鏡照明系であって、前記顕微鏡照明系が、 光学軸(9)と平行に伝播する照明ビーム(16)を生成するための照明光源装置(10)と、 前記光学軸(9)に垂直な平面にて前記照明ビーム(16)を偏向させるための走査ミラー装置(2)と、 検査対象の試料(8)上に前記照明ビームを集束する顕微鏡対物レンズ(7)の後焦点面(6)に前記走査ミラー装置(2)を結像するための、かつ前記照明ビーム(16)を拡張するための走査アイピース(3)および下流の走査チューブレンズ(5)と、を含む顕微鏡照明ユニット(100)を前記第1の顕微鏡照明モードを提供するために有し、 前記第2の顕微鏡照明モードを提供するために、前記顕微鏡照明ユニット(100)は、前記照明ビームが前記顕微鏡対物レンズ(7)の前記後焦点面(6)に集束されるように、前記照明ビームの経路(16)に挿入可能な集束レンズ(4)を有する顕微鏡照明系。
IPC (1件)：
G02B 21/06
FI (1件)：
G02B21/06
Fターム (7件)：
2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AC04 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC34 ,  2H052AF14
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)
  • レーザー顕微鏡
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-214373   出願人：オリンパス光学工業株式会社
  • 照明装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-129750   出願人：オリンパス株式会社

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