特許
J-GLOBAL ID：201303033097241957
塵埃センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
吉田 正義
, 今枝 弘充
, 梅村 裕明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-038248
公開番号（公開出願番号）：特開2013-181983
出願日： 2013年02月28日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
要約：
【課題】小型化することができる塵埃センサを提供する。【解決手段】塵埃センサ1は、検知部2と、前記検知部2と電気的に接続された回路部とを備え、前記検知部2は弾性変形可能なカンチレバー部7を有し、前記カンチレバー部7はピエゾ抵抗層10が形成されており、前記回路部は、前記カンチレバー部7の共振周波数領域の抵抗変化を測定することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
検知部と、
前記検知部と電気的に接続された回路部と
を備え、
前記検知部は弾性変形可能なカンチレバー部を有し、
前記カンチレバー部はピエゾ抵抗層が形成されており、
前記回路部は、前記カンチレバー部の共振周波数領域の抵抗変化を測定する
ことを特徴とする塵埃センサ。
IPC (3件)：
G01V 3/00
, G01Q 20/04
, G01Q 80/00
G01V3/00 A
, G01Q20/04
, G01Q80/00
出願人引用 (2件)
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流体の流れに関する情報の取得方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-345805
出願人：キヤノン株式会社
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流速センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2011-001917
出願人：国立大学法人東京大学
審査官引用 (1件)
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