特許
J-GLOBAL ID：201303033745401531
レーザ加工装置,レーザ加工方法,レーザ照射装置およびレーザ照射方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 石田 悟
, 柴田 昌聰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-239014
公開番号（公開出願番号）：特開2013-063467
出願日： 2012年10月30日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：
【課題】高スループットで高品質のレーザ加工をすることができて装置の小型化が可能であるレーザ加工装置等を提供する。【解決手段】レーザ加工装置1は、レーザ光源10、位相変調型の空間光変調器20、駆動部21、制御部22、結像光学系30を備える。結像光学系30はテレセントリック光学系を含む。駆動部21に含まれる記憶部21Aは、複数の基本加工パターンそれぞれに対応する複数の基本ホログラムを記憶するとともに、フレネルレンズパターンに相当する集光用ホログラムを記憶する。制御部22は、記憶部21Aにより記憶された複数の基本ホログラムのうちから選択した2以上の基本ホログラムを並列配置し、その並列配置した各基本ホログラムに集光用ホログラムを重畳して全体ホログラムを構成し、その構成した全体ホログラムを空間光変調器20に呈示させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
加工対象物に対してレーザ光を照射することにより、2以上の基本加工パターンを含む全体加工パターンで一括して前記加工対象物を加工するレーザ加工装置であって、
レーザ光を出力するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出力されたレーザ光を入力し、2次元配列された複数の画素それぞれにおいて前記レーザ光の位相を変調する全体ホログラムを呈示して、その位相変調後のレーザ光を出力する位相変調型の空間光変調器と、
複数の基本加工パターンそれぞれに対応する複数の基本ホログラムを記憶するとともに、フレネルレンズパターンに相当する集光用ホログラムを記憶する記憶部と、
前記空間光変調器に呈示される集光用ホログラムの焦点距離に結像関係が成立するように配置されたテレセントリック光学系を含み、前記空間光変調器から出力されるレーザ光を入力して、そのレーザ光を前記加工対象物において結像させる結像光学系と、
前記記憶部により記憶された複数の基本ホログラムのうちから選択した2以上の基本ホログラムを並列配置し、その並列配置した各基本ホログラムに前記集光用ホログラムを重畳して全体ホログラムを構成し、その構成した全体ホログラムを前記空間光変調器に呈示させる制御部と、
を備えることを特徴とするレーザ加工装置。
IPC (10件)：
B23K 26/073
, B23K 26/06
, B23K 26/00
, G02F 1/01
, H01S 3/00
, H01S 3/10
, G02B 5/32
, G02B 5/18
, G02B 13/00
, G02B 3/08
B23K26/073
, B23K26/06 Z
, B23K26/00 M
, B23K26/06 A
, B23K26/00 B
, G02F1/01 D
, H01S3/00 B
, H01S3/10 A
, G02B5/32
, G02B5/18
, G02B13/00
, G02B3/08
2H079AA02
, 2H079BA03
, 2H079CA02
, 2H079DA08
, 2H079FA03
, 2H079FA04
, 2H079GA05
, 2H079KA01
, 2H079KA14
, 2H079KA18
, 2H087KA26
, 2H087LA01
, 2H087LA25
, 2H087NA02
, 2H087RA45
, 2H087RA46
, 2H249AA25
, 2H249AA26
, 2H249AA65
, 2H249AA68
, 2H249CA07
, 2H249CA08
, 2H249CA09
, 2H249CA17
, 4E068AB01
, 4E068AB02
, 4E068CB02
, 4E068CB08
, 4E068CB09
, 4E068CD05
, 4E068CD08
, 4E068CD10
, 4E068CD13
, 4E068CE03
, 5F172NR04
, 5F172ZZ01
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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